第３回Green Molding Webinar Week｜7月2日〜7月5日｜視聴無料
試料表面に形成された薄膜・積層膜の元素組成や化学状態、その膜厚を調べるという要求は多くあります。そのような試料の分析には、SEM,TEMを用いて断面観察しながらの分析がよく行われていますが、高度...
オージェ電子分光分析装置 (AES) は表面から数 nmといった極浅い領域の元素分析や化学状態分析を行う装置です。サブマイクロメートル以下の微小領域で表面元素分析を行う場合には、非常に有用な装置...
近年、半導体材料をはじめとする極薄多層膜について、膜厚の均質性や界面急峻性を高精度に評価することが求められています。その中でXPS測定とArイオンエッチングを組み合わせた深さ方向分析は、試料前処...
仕事関数は電子放出材料や電子デバイス等の分野において重要な物性量であり、様々な手法で評価されています。 そこで今回は表面汚れ量や試料の元素組成を評価できるXPS装置にUPS (紫外線光電子分光...