2023/05/31 | 10:30 - 16:30
EUVプラズマの診断や制御のための計測技術〜「光る理由」を可視化する〜。EUV光源用プラズマの概要がわかる1日セミナーです。プラズマに興味があれば、特に決まった予備知識は必要ありません。 ...
2023/05/31 | 10:30-16:30
シリコン半導体デバイスのさらなる微細化をコスト面から支えるためには、高スループットの露光装置が不可欠であり、極端紫外(EUV)露光光源（波長13.5 nm）の高出力化が強く望まれている。光源は、...