次世代金型技術Webinar Week 参加企業募集中（資料請求はこちら）
2023/05/31 | 10:30 - 16:30
EUVプラズマの診断や制御のための計測技術〜「光る理由」を可視化する〜。EUV光源用プラズマの概要がわかる1日セミナーです。プラズマに興味があれば、特に決まった予備知識は必要ありません。 ...
2023/06/07 | 13:30~16:30
2023年6月7日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の リソテックジャパン株式会社/大阪公立大学 関口 淳氏のご講演。ArFリソグラフィ～EUVリソグラフィ...
2023/06/09 | １０：３０～１６：３０
本講演では、最新のロードマップを紹介し、EUVを中心としたリソグラフィの最先端技術、開発動向、レジスト材料への要求特性について解説する。量産工程で実際に起こるレジスト材料のトラブルについて、その...
2023/07/10 | 10:30 - 16:30
g,i-線から今後需要拡大が見込まれるEUVレジストまでをわかりやすく解説！半導体産業の現状と課題を整理し、今後の展望を考える機会になれば幸いです。講師は元・JSR鴨志田洋一先生。 ■はじ...
2023/07/28 | 10:30 ~ 17:30
～ ガウスの近軸理論、近軸理論の応用、光学CADによる収差設計、光学設計の応用：極紫外(EUV)光学への応用 ～ ・光学設計の基礎から収差設計、極紫外（EUV）結像光学系への応用を修得し、画像...
2023/07/31 | 13:30～17:00
■講演主旨： フォトレジスト材料は、化学増幅型システムを基盤として、露光システムの変遷と共に進化して きた。前半は、その進化の変遷について、高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について...
2023/08/29 | 10:30 - 16:30
更なる適用拡大・研究開発進む、EUVリソグラフィをレジスト中心に解説！基本と課題から、EUVレジストへの要求特性と設計指針、最新市場・技術動向、注目技術メタルレジストまで。 ■はじめに： ...
2023/09/07 | 10:30～16:30
メモリー、マイクロプロセッサ等の半導体の高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い益々大きくなっています。 本講演では、リソグラフィの基礎、最新のロードマップを述べた後、デバイス...
2023/09/13 | 10:30 - 16:30
■はじめに 2019年、30年にもおよんだ長い検討期間を経て、ついにEUVリソグラフィが量産適用された。しかしながら、適用された各技術は、まだ序章に過ぎず多くの課題を抱えている。言い換えると、...
2023/09/25 | 12:30 - 16:30
EUV光源技術の研究開発・高効率化〜次世代半導体リソグラフィーに向けて〜。EUVリソグラフィーの露光・光源技術を解説！ 半導体は「産業のコメ」から「産業のブレイン」へ。高性能化・省エネ化を急ぐ ...
2024/01/22 | １０：３０～１６：１５
【習得できる知識】 メタルレジストがなぜ重要か、メタルレジストの基本構造、メタルレジストのEUV露光による反応機構 【講座の趣旨】 レジストの歴史歴背景、メタルレジストの重要性、メタル...
2024/01/22 | 10:30~16:15
本講演では、EUV用レジスト材料の反応機構およびEUVレジスト材料の反応機構に基づいた高性能化にについて解説します。特に、メタルレジスト材料の性能評価に関する研究について最近の研究成果を挙げなが...