2023/05/31 | 10:30 - 16:30
EUVプラズマの診断や制御のための計測技術〜「光る理由」を可視化する〜。EUV光源用プラズマの概要がわかる1日セミナーです。プラズマに興味があれば、特に決まった予備知識は必要ありません。 ...
2023/06/07 | 13:30~16:30
2023年6月7日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の リソテックジャパン株式会社/大阪公立大学 関口 淳氏のご講演。ArFリソグラフィ～EUVリソグラフィ...
2023/06/09 | １０：３０～１６：３０
本講演では、最新のロードマップを紹介し、EUVを中心としたリソグラフィの最先端技術、開発動向、レジスト材料への要求特性について解説する。量産工程で実際に起こるレジスト材料のトラブルについて、その...
2023/07/10 | 10:30 - 16:30
g,i-線から今後需要拡大が見込まれるEUVレジストまでをわかりやすく解説！半導体産業の現状と課題を整理し、今後の展望を考える機会になれば幸いです。講師は元・JSR鴨志田洋一先生。 ■はじ...