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ウェビナー No.111465

2023/05/31 | 10:30 - 16:30

EUVプラズマ計測技術セミナー

EUVプラズマの診断や制御のための計測技術〜「光る理由」を可視化する〜。EUV光源用プラズマの概要がわかる1日セミナーです。プラズマに興味があれば、特に決まった予備知識は必要ありません。 ...

ウェビナー No.113519

2023/06/07 | 13:30~16:30

2023年6月7日開講。WEBセミナー。「ArFリソグラフィ~EUVリソグラフィ...

2023年6月7日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の リソテックジャパン株式会社/大阪公立大学 関口 淳氏のご講演。ArFリソグラフィ~EUVリソグラフィ...

ウェビナー No.114294

2023/06/09 | 10:30~16:30

リソグラフィ技術の開発動向と レジスト材料への要求特性、トラブル対...

本講演では、最新のロードマップを紹介し、EUVを中心としたリソグラフィの最先端技術、開発動向、レジスト材料への要求特性について解説する。量産工程で実際に起こるレジスト材料のトラブルについて、その...

ウェビナー No.113830

2023/07/10 | 10:30 - 16:30

リソグラフィプロセスとレジスト材料技術セミナー

g,i-線から今後需要拡大が見込まれるEUVレジストまでをわかりやすく解説!半導体産業の現状と課題を整理し、今後の展望を考える機会になれば幸いです。講師は元・JSR鴨志田洋一先生。 ■はじ...

ウェビナー No.118436

2023/07/28 | 10:30 ~ 17:30

光学設計の基礎と光学機器設計への応用 ~デモ付~ <オンラインセ...

~ ガウスの近軸理論、近軸理論の応用、光学CADによる収差設計、光学設計の応用:極紫外(EUV)光学への応用 ~ ・光学設計の基礎から収差設計、極紫外(EUV)結像光学系への応用を修得し、画像...

ウェビナー No.126914

2023/07/31 | 13:30~17:00

【オンラインLive配信・WEBセミナー】 高感度化フォトレジスト材料の...

■講演主旨:  フォトレジスト材料は、化学増幅型システムを基盤として、露光システムの変遷と共に進化して きた。前半は、その進化の変遷について、高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について...

ウェビナー No.126719

2023/08/29 | 10:30 - 16:30

「EUVリソグラフィ・EUVレジスト」│基礎・最新開発動向から現状課題...

更なる適用拡大・研究開発進む、EUVリソグラフィをレジスト中心に解説!基本と課題から、EUVレジストへの要求特性と設計指針、最新市場・技術動向、注目技術メタルレジストまで。 ■はじめに: ...

ウェビナー アーカイブ No.138459

2023/09/07 | 10:30~16:30

A230907: レジスト・微細加工用材料への要求特性と最新技術動向

メモリー、マイクロプロセッサ等の半導体の高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い益々大きくなっています。  本講演では、リソグラフィの基礎、最新のロードマップを述べた後、デバイス...

ウェビナー No.131449

2023/09/13 | 10:30 - 16:30

フォトレジスト材料の基礎と開発・設計指針 ~合成・評価法からEUV用...

■はじめに 2019年、30年にもおよんだ長い検討期間を経て、ついにEUVリソグラフィが量産適用された。しかしながら、適用された各技術は、まだ序章に過ぎず多くの課題を抱えている。言い換えると、...

ウェビナー No.138216

2023/09/25 | 12:30 - 16:30

「EUVリソグラフィー 光源」 セミナー│次世代半導体リソグラフィー...

EUV光源技術の研究開発・高効率化〜次世代半導体リソグラフィーに向けて〜。EUVリソグラフィーの露光・光源技術を解説! 半導体は「産業のコメ」から「産業のブレイン」へ。高性能化・省エネ化を急ぐ ...

ウェビナー No.146479

2024/01/22 | 10:30~16:15

EUVメタルレジストの作製、反応機構と評価

【習得できる知識】 メタルレジストがなぜ重要か、メタルレジストの基本構造、メタルレジストのEUV露光による反応機構 【講座の趣旨】 レジストの歴史歴背景、メタルレジストの重要性、メタル...

ウェビナー No.146758

2024/01/22 | 10:30~16:15

EUVメタルレジストの作製、反応機構と評価【提携セミナー】 | アイア...

本講演では、EUV用レジスト材料の反応機構およびEUVレジスト材料の反応機構に基づいた高性能化にについて解説します。特に、メタルレジスト材料の性能評価に関する研究について最近の研究成果を挙げなが...

ウェビナー No.151200

2024/01/22 | 10:30~16:30

フォトレジスト材料の基本的な構成構造,材料設計および高感度化【提...

フォトレジスト材料は,化学増幅型システムを基盤として,露光システムの変遷と共に進化をしてきた。その進化の変遷について,高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について解説する。さらに,KrF,A...

ウェビナー No.148203

2024/01/23 | 13:00-17:30

2024年1月23日開講。WEBセミナー。「EUVリソグラフィおよびレジスト開...

2024年1月23日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の 兵庫県立大学 渡邊 健夫 氏、鴨志田技術事務所 鴨志田 洋一 氏、富士フイルム株式会社 藤森 亨 ...

ウェビナー No.151261

2024/01/24 | 10:30~16:15

EUVリソグラフィ技術、メタルレジスト材料の開発と課題【提携セミナー...

本講座では、フォトレジスト開発従事者による材料面からみたリソグラフィの歴史の理解。先端EUVレジストの課題とその解決検討状況の理解。国家プロジェクトの必要性と活用法の理解。などが習得できる知識です。

ウェビナー No.148099

2024/02/06 | 10:00-16:30

2024年2月6日開講。WEBセミナー。「EUVリソグラフィ技術と半導体微細...

2024年2月6日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の九州大学 溝口 計 氏、東京工業大学 鈴木 一明 氏、富士フイルム株式会社 藤森 亨 氏、東京エレクト...

ウェビナー No.149598

2024/03/14 | 10:30-16:50

2024年3月14日開講。WEBセミナー。「次世代レジストにおける技術開発...

2024年3月14日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の 関西大学 工藤 宏人 氏、量子科学技術研究開発機構 山本 洋揮 氏、リソテックジャパン株式会社/大...