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ウェビナー No.111465

2023/05/31 | 10:30 - 16:30

EUVプラズマ計測技術セミナー

EUVプラズマの診断や制御のための計測技術〜「光る理由」を可視化する〜。EUV光源用プラズマの概要がわかる1日セミナーです。プラズマに興味があれば、特に決まった予備知識は必要ありません。 ...

ウェビナー No.113519

2023/06/07 | 13:30~16:30

2023年6月7日開講。WEBセミナー。「ArFリソグラフィ~EUVリソグラフィ...

2023年6月7日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の リソテックジャパン株式会社/大阪公立大学 関口 淳氏のご講演。ArFリソグラフィ~EUVリソグラフィ...

ウェビナー No.114294

2023/06/09 | 10:30~16:30

リソグラフィ技術の開発動向と レジスト材料への要求特性、トラブル対...

本講演では、最新のロードマップを紹介し、EUVを中心としたリソグラフィの最先端技術、開発動向、レジスト材料への要求特性について解説する。量産工程で実際に起こるレジスト材料のトラブルについて、その...

ウェビナー No.113830

2023/07/10 | 10:30 - 16:30

リソグラフィプロセスとレジスト材料技術セミナー

g,i-線から今後需要拡大が見込まれるEUVレジストまでをわかりやすく解説!半導体産業の現状と課題を整理し、今後の展望を考える機会になれば幸いです。講師は元・JSR鴨志田洋一先生。 ■はじ...