2023/11/30 | 13:00~16:30
レジストの技術・材料・プロセス・装置の総合知識【提携セミナー】 |...
レジスト材料開発、およびレジスト処理装置関連の技術者、レジストユーザー、リソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、フォトレジスト材料の特性、プロセスの最適化、付着・濡れ・欠陥といった各種ト...
2023/02/10 | 10:30~16:30
フォトレジスト材料の基本的な構成構造, 材料設計および高感度化
フォトレジスト材料は,化学増幅型システムを基盤として,露光システムの変遷と共に進化をしてきた。その進化の変遷について,高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について解説する。さらに,KrF,A...
2023/05/19 | 13:00-16:30
セミナー「高感度化フォトレジスト材料の設計術」の詳細情報 - ものづ...
フォトレジスト材料は、化学増幅型システムを基盤として、露光システムの変遷と共に進化をしてきた。その進化の変遷について、高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について解説する。さらに、KrF、A...
2024/01/24 | 10:30~16:15
EUVリソグラフィ技術、メタルレジスト材料の開発と課題【提携セミナー...
本講座では、フォトレジスト開発従事者による材料面からみたリソグラフィの歴史の理解。先端EUVレジストの課題とその解決検討状況の理解。国家プロジェクトの必要性と活用法の理解。などが習得できる知識です。