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ウェビナー No.153152

2024/08/30 | 13:30-16:30

微細加工リソグラフィ用レジスト開発の動向および今後の展開 ~EUVリ...

①フォトレジスト材料開発、ナノインプリントレジスト材料開発、リソグラフィプロセス、国プロジェクトを経験している講師がリソグラフィの歴史から基礎、今後の展望までを楽しく解説してくれます  ②微細...

ウェビナー No.126719

2023/08/29 | 10:30 - 16:30

「EUVリソグラフィ・EUVレジスト」│基礎・最新開発動向から現状課題...

更なる適用拡大・研究開発進む、EUVリソグラフィをレジスト中心に解説!基本と課題から、EUVレジストへの要求特性と設計指針、最新市場・技術動向、注目技術メタルレジストまで。 ■はじめに: ...

ウェビナー No.138216

2023/09/25 | 12:30 - 16:30

「EUVリソグラフィー 光源」 セミナー│次世代半導体リソグラフィー...

EUV光源技術の研究開発・高効率化〜次世代半導体リソグラフィーに向けて〜。EUVリソグラフィーの露光・光源技術を解説! 半導体は「産業のコメ」から「産業のブレイン」へ。高性能化・省エネ化を急ぐ ...

ウェビナー No.113519

2023/06/07 | 13:30~16:30

2023年6月7日開講。WEBセミナー。「ArFリソグラフィ~EUVリソグラフィ...

2023年6月7日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の リソテックジャパン株式会社/大阪公立大学 関口 淳氏のご講演。ArFリソグラフィ~EUVリソグラフィ...

ウェビナー No.152980

2024/06/21 | 11:00-17:00

ナノインプリントリソグラフィと光学デバイス・半導体製造技術の展望...

ナノインプリントリソグラフィは、半導体の露光装置の代替え技術として1995年に開発された。  この技術は、ナノオーダーの金型転写技術であり、簡単な原理でナノパターンが得られる利点がある。しかし...

ウェビナー No.73789

2023/02/16 | 10:30-16:30

セミナー「レジスト・微細加工用材料の基礎・要求特性と最先端技術 ~...

メモリー、マイクロプロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。リソグラフィの先端の量産工程ではダブル/マルチパターニングに加えて、待ち望...

ウェビナー No.109907

2023/06/09 | 10:30-16:30

セミナー「リソグラフィ技術の開発動向とレジスト材料への要求特性、...

メモリー、マイクロプロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。リソグラフィは現在先端の量産で用いられているダブル/マルチパターニングに加...

ウェビナー No.113830

2023/07/10 | 10:30 - 16:30

リソグラフィプロセスとレジスト材料技術セミナー

g,i-線から今後需要拡大が見込まれるEUVレジストまでをわかりやすく解説!半導体産業の現状と課題を整理し、今後の展望を考える機会になれば幸いです。講師は元・JSR鴨志田洋一先生。 ■はじ...

ウェビナー No.45844

2022/09/22 | 10:30~16:15

レジスト材料の 高感度、高解像度化と欠陥対策

メモリー、マイクロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。リソグラフィは現在先端の量産で用いられているダブル/マルチパターニングに加えて...

ウェビナー No.48513

2022/09/29 | 10:30-16:30

セミナー「リソグラフィー/EUVリソグラフィー技術の基礎、最新技...

極端紫外線リソグラフィー(EUVL)技術は30年に開発期間を経て、7 nmおよび5 nm nodeの半導体デバイスの量産に適用されました。しかしながら、さらなる微細化に向けて多くの課題を抱えてい...

アーカイブ No.50783

2022/12/12 〜 2022/12/23

セミナー「レジスト・微細加工用材料の基礎とトラブル対策【アーカイ...

メモリー、マイクロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。リソグラフィは現在先端の量産で用いられているArF液浸、ダブル/マルチパターニ...

ウェビナー アーカイブ No.50784

2022/12/06 | 10:30-16:30

セミナー「レジスト・微細加工用材料の基礎とトラブル対策」の詳細情...

メモリー、マイクロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。リソグラフィは現在先端の量産で用いられているArF液浸、ダブル/マルチパターニ...

ウェビナー アーカイブ No.62280

2022/12/07 | 10:30-16:15

セミナー「EUVリソグラフィの発展・課題とレジスト材料・技術の研究・...

【1部】EUVリソグラフィ開発課題 【2部】EUVレジスト開発動向 【3部】メタル含有レジスト研究 第1部では、マスク吸収体材料、Stochastic Errorに対応レジスト、ペリ...

ウェビナー No.94294

2023/06/21 | 10:30-16:30

セミナー「レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策」の詳細情...

リソグラフィの基礎、レジスト材の高性能化、評価技術、最近のリソグラフィ技術 セミナー終了後に個別相談会(希望者のみ)を実施!セミナー内容に関する質問や現場での困りごとを相談できます!

ウェビナー No.108748

2023/05/25 | 13:00-17:05

セミナー「EUVリソグラフィおよびレジスト・フォトマスクの概要、Bey...

~目指すべき半導体業界の将来像~ ★5月発刊予定の書籍「EUVリソグラフィ」の発刊記念セミナー! 第1講では、EUVL技術開発の第一人者が、黎明期のEUVL、技術開発の現状、今後の展...

アーカイブ No.109750

2023/06/26 〜 2023/07/07

セミナー「レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策【アーカイ...

~リソグラフィの基礎、レジスト材の高性能化、評価技術、最近のリソグラフィ技術~ このセミナーはアーカイブ配信です。配信期間中(2023年6月26日~7月7日)は、いつでも何度でも視聴できます!

ウェビナー No.114294

2023/06/09 | 10:30~16:30

リソグラフィ技術の開発動向と レジスト材料への要求特性、トラブル対...

本講演では、最新のロードマップを紹介し、EUVを中心としたリソグラフィの最先端技術、開発動向、レジスト材料への要求特性について解説する。量産工程で実際に起こるレジスト材料のトラブルについて、その...

ウェビナー No.131449

2023/09/13 | 10:30 - 16:30

フォトレジスト材料の基礎と開発・設計指針 ~合成・評価法からEUV用...

■はじめに 2019年、30年にもおよんだ長い検討期間を経て、ついにEUVリソグラフィが量産適用された。しかしながら、適用された各技術は、まだ序章に過ぎず多くの課題を抱えている。言い換えると、...

ウェビナー アーカイブ No.115849

2023/06/21 | 10:30~16:30

レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策【LIVE配信】 | セミナ...

習得できる知識 ・レジストを製造するための基礎知識、設計概念と具体的方法 ・レジストの品質管理手法 ・レジストを使用する際の留意事項、トラブル対応能力 ・リソグラフィープロセスの最適化方...

ウェビナー No.143754

2023/12/08 | 10:30-16:30

リソグラフィー技術の基礎とフォトレジストの評価方法《研究開発、製...

本講座では、バーチャル・リソグラフィ評価方法の解説を中心に、リソグラフィーの基礎から、最新のフォトレジスト材料の評価方法について述べたいと思います。