2022/03/10
EUVリソグラフィの 最新動向とレジスト、光源の開発
１．EUVリソグラフィーの最新動向と課題解決への技術開発 兵庫県立大学 渡邊 健夫 氏 ２．EUVリソグラフィ用フォトレジストの開発動向と要求特性 富士フイルム(株) 藤森 亨 氏 ３．...
2022/09/22 | 10:30~16:15
レジスト材料の高感度、高解像度化と欠陥対策
リソグラフィの最新動向とレジスト材料への要求特性、EUVリソグラフィ用フォトレジストの開発動向と高感度、高解像度化、レジスト材料の付着性解析と欠陥、トラブル対策について講演する。
2023/02/10 | 10:30～16:30
フォトレジスト材料の基本的な構成構造， 材料設計および高感度化
フォトレジスト材料は，化学増幅型システムを基盤として，露光システムの変遷と共に進化をしてきた。その進化の変遷について，高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について解説する。さらに，KrF，A...
2023/04/17 | 13:00-16:00
セミナー「初歩からのマテリアルズ・インフォマティクス入門研修'23 ...
AI、シミュレーション、量子コンピュータなどIT技術を活用して材料開発を加速するマテリアルズ・インフォマティクス（MI）について、基礎から実践まで幅広く解説する。 まずは入門者向けのMI...
2023/05/19 | 13:00-16:30
セミナー「高感度化フォトレジスト材料の設計術」の詳細情報 - ものづ...
フォトレジスト材料は、化学増幅型システムを基盤として、露光システムの変遷と共に進化をしてきた。その進化の変遷について、高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について解説する。さらに、KrF、A...
2023/07/31 | 13:30-17:00
2023年7月31日開講。WEBセミナー。「高感度化フォトレジスト材料の入...
2023年7月31日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の関西大学 工藤 宏人 氏のご講演。 高感度化フォトレジスト材料の入門～化学増幅型レジストからメタルレ...
2023/08/31 | 13:00-17:00
2023年8月31日開講。WEBセミナー講座。「半導体フォトレジスト・材料...
2023年8月31日開講。WEBセミナー講座。「半導体フォトレジスト・材料の基礎と応用展開・トラブル対策」第一人者の 元ナガセケムテックス 山田 氏に詳細なご講演をいただく講座。