2023/06/02 | 10:30-16:30
セミナー「【徹底解説】半導体製造におけるエッチング技術の基礎知識...
半導体集積回路の微細化・三次元化は益々進み、現在は原子層レベルの制御性が求められている。本講演では、半導体集積回路の製造に不可欠なエッチング技術について、ドライエッチングおよびウェットエッチング...
2023/06/09 | 10:30~16:10
CMPプロセスの設計と高精度、安定化技術
本講演ではCMP技術を中心に、パワー半導体やシリコン半導体の技術動向について解説する。 パワー半導体では基板形成プロセスおける研削やCMP技術の役割について解説する。 ここではサファイア基板...
2023/06/12 | 10:00~17:00
半導体ダイシングの 低ダメージ化技術
半導体デバイスは微細化が限界に近づいていることにより、パッケージ技術にもその性能向上の役割分担をさせるようになり、パッケージ技術も多様化複雑化してきた。 ダイシングは、ウエハからチップを切り出...
2023/06/19 | 13:00-16:00
セミナー「ペロブスカイト太陽電池の基礎から作製・評価方法、高性能...
有機無機ハイブリッドのペロブスカイト結晶を用いた太陽電池は、2009年に初めて報告されて以来、そのエネルギー変換効率は25%を超え、その変換効率のみに着目すると、従来のシリコン太陽電池に迫る勢...