2023/08/29 | 10:30 - 16:30
更なる適用拡大・研究開発進む、EUVリソグラフィをレジスト中心に解説！基本と課題から、EUVレジストへの要求特性と設計指針、最新市場・技術動向、注目技術メタルレジストまで。 ■はじめに： ...
2023/09/25 | 12:30 - 16:30
EUV光源技術の研究開発・高効率化〜次世代半導体リソグラフィーに向けて〜。EUVリソグラフィーの露光・光源技術を解説！ 半導体は「産業のコメ」から「産業のブレイン」へ。高性能化・省エネ化を急ぐ ...