2023/06/16 | 13:00-16:00
セミナー「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」の...
原子層堆積法は、ナノの酸化物薄膜を複雑形状にもコンフォーマルで形成できることから、LSI製造に利用されています。近年では、LSIのみならず、MEMS、太陽電池、機械部品、PETボトルへのコーティ...
2023/06/16 | 13:00~17:00
ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向【LIVE配信】 ...
原子層堆積法は、ナノの酸化物薄膜を複雑形状にもコンフォーマルで形成できることから、LSI製造に利用されています。近年では、LSIのみならず、MEMS、太陽電池、機械部品、PETボトルへのコーティ...
2023/07/25 | 10:00-16:00
セミナー「スパッタ・真空蒸着と膜質改善技術の徹底解説」の詳細情報...
本講演では、スパッタや真空蒸着によって薄膜を作成しようとする場合に頻繁に問題となる膜質制御や剥離対策にテーマに絞り、1)一つの技術課題とその解決のキーポイントの例示→2)その技術内容に関わる最低...
2023/07/25 | 10:00~16:30
スパッタ・真空蒸着と膜質改善技術の徹底解説【LIVE配信】 | セミナー...
本講演では、スパッタや真空蒸着によって薄膜を作成しようとする場合に頻繁に問題となる膜質制御や剥離対策にテーマに絞り、1)一つの技術課題とその解決のキーポイントの例示→2)その技術内容に関わる最低...
2023/07/26 | 10:30-17:00
セミナー「酸化ガリウム(Ga2O3)の結晶成長・薄膜形成とデバイス応用」...
α相 β相 κ相 γ相 δ相 5つの結晶多形における研究開発動向を紹介 ミスト流を利用した機能膜作製手法「ミストCVD」の概要と技術動向についても解説 本セミナーでは、新しいパワーデバイ...