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No.103519
2023/06/16 | 13:00-16:00
セミナー「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」の...
原子層堆積法は、ナノの酸化物薄膜を複雑形状にもコンフォーマルで形成できることから、LSI製造に利用されています。近年では、LSIのみならず、MEMS、太陽電池、機械部品、PETボトルへのコーティ...
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No.115704
2023/06/16 | 13:00~17:00
ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向【LIVE配信】 ...
原子層堆積法は、ナノの酸化物薄膜を複雑形状にもコンフォーマルで形成できることから、LSI製造に利用されています。近年では、LSIのみならず、MEMS、太陽電池、機械部品、PETボトルへのコーティ...