2023/01/16 | 10:00~17:00
強誘電体薄膜の 作製と物性評価、今後の応用展望
本講座では、メモリ応用や圧電応用として知られるPb(Zr,Ti)O3(PZT)系強誘電体薄膜のMOCVD法による作製とその基礎的物性、強誘電体薄膜の物性解明に大きな役割を果たした圧電応答顕微鏡(...
2023/03/08 | 10:30~16:30
薄膜の剥離メカニズムと 密着性改善の考え方、密着力の評価方法
本セミナーでは、薄膜の密着性の問題に実践的に対処する際に知っておくべき基本的な内容について、具体的な問題点とその解決のキーポイントの例示→その技術内容に関わる最低限知っておきたい基礎事項の紹介→...
今さら聞けない「薄膜形成技術」種類と選び方
高密度・低欠陥化を実現した新しいスパッタ薄膜も事例で紹介 半導体・電子デバイスの品質を左右する「薄膜」は、特性や材料に応じて最適な工法を選ぶ必要がありますが、「実は基礎から学んだ経験がない...
2023/03/29 | 10:00~16:15
原子層堆積(ALD)技術による 薄膜作製と原料の開発、応用
AIや5GなどIoT技術の進歩を支えている半導体加工技術において、高機能な薄膜を形成することは、非常に重要である。薄膜形成技術については、古くからいろいろな手法が開発され、LSI、ディスプレイ、...