2022/11/08 | 10:30~16:30
プラズマの生成、制御、計測技術と プロセスへの応用
本講座では、半導体製造プロセスなどでよく用いられる低圧力プロセス用プラズマを念頭に、プラズマの生成・制御を行うための基礎とともに、プラズマに接した固体表面で起こるプラズマ・表面相互作用の基礎を取...
2022/11/11 | 13:00~16:30
ALE(アトミック レイヤー エッチング)技術の基本原理と最新動向、今...
半導体加工の微細化は原子層レベルに到達しており、3次元構造化と積層化による集積度向上が加速しています。また、ポストスケーリングに向けて、新構造トランジスタや新材料の検討が進んでいます。このため今...
2022/12/19 | 10:30~16:30
最新CMP技術 徹底解説【LIVE配信】 | セミナーのことならR&D支援セン...
CMPという当初ゲテモノ扱いされていたプロセスが半導体製造に導入されて四半世紀以上が経過した。いまではなくてはならないキープロセスとなっており、その工程数、応用範囲はますます広がっている。最新の...
2023/04/28 | 10:00~17:00
半導体製造におけるシリコンウェーハのクリーン化技術・洗浄技術【LI...
本セミナーは、今までノウハウとして門外不出の内向きの技術領域として扱われてきた、歩留まり向上のための「先端半導体クリーン化技術および洗浄・乾燥技術」について、その基礎から最先端技術までを、実践的...