2023/07/07 | 13:00 - 16:30

レジスト材料・プロセス

「レジストプロセスの最適化と特性評価法」・本セミナーでは、レジスト材料開発・処理装置技術者及びユーザー、リソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、半導体をはじめとしたレジスト材料プロセス技...

2023/11/30 | 13:00-16:30

セミナー「レジストの技術・材料・プロセス・装置の総合知識」の詳細...

現在、レジスト材料は、半導体、ディスプレイ、プリント基板、太陽電池、MEMS等の多くの電子産業分野において、世界市場で実用化されています。その市場規模は、年間1500億円におよび年々拡大していま...

2023/08/29 | 10:30 - 16:30

「EUVリソグラフィ・EUVレジスト」│基礎・最新開発動向から現状課題...

更なる適用拡大・研究開発進む、EUVリソグラフィをレジスト中心に解説！基本と課題から、EUVレジストへの要求特性と設計指針、最新市場・技術動向、注目技術メタルレジストまで。 ■はじめに： ...

2023/07/31 | 13:30-17:00

セミナー「高感度化フォトレジスト材料の入門」の詳細情報 - ものづく...

フォトレジスト材料は、化学増幅型システムを基盤として、露光システムの変遷と共に進化してきた。前半は、その進化の変遷について、高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について、基礎的な原理を交えて...

2023/08/31 | 13:00-17:00

セミナー「半導体フォトレジスト・材料の基礎と応用展開・トラブル対...

半導体・ディスプレイ・電子素子・5感センサー等の高機能化にリソグラフィ加工は非常に有用である。 この加工技術において使用されるフォトレジストは、リソグラフィ技術のキーとなる電子材料である。 ...

2024/03/14 | 10:30-16:50

2024年3月14日開講。WEBセミナー。「次世代レジストにおける技術開発...

2024年3月14日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の 関西大学　工藤　宏人　氏、量子科学技術研究開発機構　山本　洋揮　氏、リソテックジャパン株式会社／大...

2023/09/13 | 10:30 - 16:30

フォトレジスト材料の基礎と開発・設計指針 ～合成・評価法からEUV用...

■はじめに 2019年、30年にもおよんだ長い検討期間を経て、ついにEUVリソグラフィが量産適用された。しかしながら、適用された各技術は、まだ序章に過ぎず多くの課題を抱えている。言い換えると、...

2023/11/30 | 13:00～16:30

レジストの技術・材料・プロセス・装置の総合知識【提携セミナー】 |...

レジスト材料開発、およびレジスト処理装置関連の技術者、レジストユーザー、リソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、フォトレジスト材料の特性、プロセスの最適化、付着・濡れ・欠陥といった各種ト...

2023/09/12 | 10:30-16:30

セミナー「半導体用レジストの特性および材料設計とその評価【LIVE配...

半導体、LCD等の電子デバイス製造では、成膜、パターン作製 (レジスト塗布、露光、現像) 、エッチング、レジスト剥離、洗浄等のプロセスを複数回繰り返すことにより、基板上に微細素子がパターンニング...

2024/01/22 | １０：３０～１６：１５

EUVメタルレジストの作製、反応機構と評価

【習得できる知識】 メタルレジストがなぜ重要か、メタルレジストの基本構造、メタルレジストのEUV露光による反応機構 【講座の趣旨】 レジストの歴史歴背景、メタルレジストの重要性、メタル...

2024/01/22 | 10:30～16:30

フォトレジスト材料の基本的な構成構造，材料設計および高感度化【提...

フォトレジスト材料は，化学増幅型システムを基盤として，露光システムの変遷と共に進化をしてきた。その進化の変遷について，高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について解説する。さらに，KrF，A...

2023/07/10 | 10:30 - 16:30

リソグラフィプロセスとレジスト材料技術セミナー

g,i-線から今後需要拡大が見込まれるEUVレジストまでをわかりやすく解説！半導体産業の現状と課題を整理し、今後の展望を考える機会になれば幸いです。講師は元・JSR鴨志田洋一先生。 ■はじ...

2024/01/24 | 10:30~16:15

EUVリソグラフィ技術、メタルレジスト材料の開発と課題【提携セミナー...

本講座では、フォトレジスト開発従事者による材料面からみたリソグラフィの歴史の理解。先端EUVレジストの課題とその解決検討状況の理解。国家プロジェクトの必要性と活用法の理解。などが習得できる知識です。

2023/12/08 | 10:30-16:30

リソグラフィー技術の基礎とフォトレジストの評価方法《研究開発、製...

本講座では、バーチャル・リソグラフィ評価方法の解説を中心に、リソグラフィーの基礎から、最新のフォトレジスト材料の評価方法について述べたいと思います。

2023/06/09 | 10:30-16:30

セミナー「リソグラフィ技術の開発動向とレジスト材料への要求特性、...

メモリー、マイクロプロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。リソグラフィは現在先端の量産で用いられているダブル/マルチパターニングに加...

2023/06/21 | 10:30～16:30

レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策【LIVE配信】 | セミナ...

習得できる知識 ・レジストを製造するための基礎知識、設計概念と具体的方法 ・レジストの品質管理手法 ・レジストを使用する際の留意事項、トラブル対応能力 ・リソグラフィープロセスの最適化方...

Windows デジタル フォレンジック

Windows レジストリ ファイルの場所 レジストリキーと値の意味 レジストリファイルの抽出 レジストリビューア レギュリッパー WRR レジストリ エクスプローラー ユーザーの...

2023/12/08 | 10:30～16:30

半導体用レジストの特性および材料設計とその評価【提携セミナー】 |...

特にレジスト材料 (感光性樹脂)・プロセスについて解説するとともに、ノボラック系ポジ型レジスト、及び化学増幅系3成分 (ベース樹脂、溶解抑制剤、酸発生剤) ポジ型レジストのそれぞれの化学成分とレ...

2023/06/09 | １０：３０～１６：３０

リソグラフィ技術の開発動向と レジスト材料への要求特性、トラブル対...

本講演では、最新のロードマップを紹介し、EUVを中心としたリソグラフィの最先端技術、開発動向、レジスト材料への要求特性について解説する。量産工程で実際に起こるレジスト材料のトラブルについて、その...

2023/09/07 | 10:30-16:30

セミナー「レジスト・微細加工用材料への要求特性と最新技術動向」の...

メモリー、マイクロプロセッサ等の半導体の高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い益々大きくなっています。 　本講演では、リソグラフィの基礎、最新のロードマップを述べた後、デバイス...