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ウェビナーアーカイブ No.10630

2022/04/18

セミナー「レジスト・微細加工用材料の基礎・要求特性と最新技術動向...

EUVリソグラフィの適用拡大や3nmプロセスへの期待など、これからも目が離せないレジスト・微細加工用材料の全体像を掴む！基礎から現在用いられている最新技術と市場動向、今後の技術展望および課題と対...

機械微細加工ナノ化学リソグラフィレジストナノインプリント照明ロードマップ市場動向溶解

ウェビナー No.113826

2023/07/07 | 13:00 - 16:30

レジスト材料・プロセス

「レジストプロセスの最適化と特性評価法」・本セミナーでは、レジスト材料開発・処理装置技術者及びユーザー、リソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、半導体をはじめとしたレジスト材料プロセス技...

半導体プリント基板プロセス技術研究開発 MEMS メーカー太陽電池ディスプレイトラブルリソグラフィレジスト評価

ウェビナー No.61924

2023/04/14 | 10:30-16:30

セミナー「レジスト材料／プロセスの基礎と実務上の最適化技術」の詳...

現在、レジスト材料は、半導体、ディスプレイ、プリント基板、太陽電池、MEMS等の多くの電子産業分野において、世界市場で実用化されています。その市場規模は、年間1500億円におよび年々拡大していま...

プリント基板測定解析制御乾燥レジスト

ウェビナー No.95148

2023/04/18 | 10:30-16:30

セミナー「半導体用レジストの材料設計とレジスト除去技術」の詳細情...

半導体、LCD等の電子デバイス製造では、成膜、パターン作製 (レジスト塗布、露光、現像) 、エッチング、レジスト剥離、洗浄等のプロセスを複数回繰り返すことにより、基板上に微細素子がパターンニング...

半導体水素化学樹脂リソグラフィレジスト剥離設計

ウェビナー No.139727

2023/11/30 | 13:00-16:30

セミナー「レジストの技術・材料・プロセス・装置の総合知識」の詳細...

半導体プリント基板研究開発解析乾燥レジスト剥離フォトレジスト

ウェビナー No.126719

2023/08/29 | 10:30 - 16:30

「EUVリソグラフィ・EUVレジスト」│基礎・最新開発動向から現状課題...

更なる適用拡大・研究開発進む、EUVリソグラフィをレジスト中心に解説！基本と課題から、EUVレジストへの要求特性と設計指針、最新市場・技術動向、注目技術メタルレジストまで。 ■はじめに： ...

半導体事業開発商品企画研究開発技術開発新規事業リソグラフィレジスト近接場光エッチング EUV

ウェビナー No.10113

2022/03/10

セミナー「EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、光源の開発」

EUV技術による微細化追求はどこまで続くのか？レジスト、マスク、光源、ペリクルなど、各部材の微細化への対応状況を探る！＜１０：００〜１２：００＞１．EUVリソグラフィーの最新動向...

ウェビナー No.121316

2023/07/31 | 13:30-17:00

セミナー「高感度化フォトレジスト材料の入門」の詳細情報 - ものづく...

フォトレジスト材料は、化学増幅型システムを基盤として、露光システムの変遷と共に進化してきた。前半は、その進化の変遷について、高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について、基礎的な原理を交えて...

実験化学有機合成レジスト設計有機

ウェビナー No.132682

2023/08/31 | 13:00-17:00

セミナー「半導体フォトレジスト・材料の基礎と応用展開・トラブル対...

半導体・ディスプレイ・電子素子・5感センサー等の高機能化にリソグラフィ加工は非常に有用である。この加工技術において使用されるフォトレジストは、リソグラフィ技術のキーとなる電子材料である。 ...

センサ半導体めっきトラブルリソグラフィレジスト電子材料フォトレジスト

ウェビナー No.149598

2024/03/14 | 10:30-16:50

2024年3月14日開講。WEBセミナー。「次世代レジストにおける技術開発...

2024年3月14日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の関西大学　工藤　宏人　氏、量子科学技術研究開発機構　山本　洋揮　氏、リソテックジャパン株式会社／大...

BCP 研究開発技術開発レジスト評価反応自己組織化構造設計 EUV フォトレジスト

ウェビナー No.131449

2023/09/13 | 10:30 - 16:30

フォトレジスト材料の基礎と開発・設計指針～合成・評価法からEUV用...

■はじめに 2019年、30年にもおよんだ長い検討期間を経て、ついにEUVリソグラフィが量産適用された。しかしながら、適用された各技術は、まだ序章に過ぎず多くの課題を抱えている。言い換えると、...

原材料化学コーティング有機合成化学工学計算表面科学リソグラフィレジスト物性評価 EUV

ウェビナー No.142780

2023/11/30 | 13:00～16:30

レジストの技術・材料・プロセス・装置の総合知識【提携セミナー】 |...

レジスト材料開発、およびレジスト処理装置関連の技術者、レジストユーザー、リソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、フォトレジスト材料の特性、プロセスの最適化、付着・濡れ・欠陥といった各種ト...

トラブルリソグラフィレジストフォトレジスト

ウェビナー No.123375

2023/09/12 | 10:30-16:30

セミナー「半導体用レジストの特性および材料設計とその評価【LIVE配...

半導体化学樹脂フィラーリソグラフィレジスト評価設計

ウェビナー No.146479

2024/01/22 | １０：３０～１６：１５

EUVメタルレジストの作製、反応機構と評価

【習得できる知識】メタルレジストがなぜ重要か、メタルレジストの基本構造、メタルレジストのEUV露光による反応機構【講座の趣旨】レジストの歴史歴背景、メタルレジストの重要性、メタル...

レジスト評価反応構造 EUV

ウェビナー No.151200

2024/01/22 | 10:30～16:30

フォトレジスト材料の基本的な構成構造，材料設計および高感度化【提...

フォトレジスト材料は，化学増幅型システムを基盤として，露光システムの変遷と共に進化をしてきた。その進化の変遷について，高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について解説する。さらに，KrF，A...

化学高分子レジスト低分子構造設計 EUV フォトレジスト

ウェビナー No.113830

2023/07/10 | 10:30 - 16:30

リソグラフィプロセスとレジスト材料技術セミナー

g,i-線から今後需要拡大が見込まれるEUVレジストまでをわかりやすく解説！半導体産業の現状と課題を整理し、今後の展望を考える機会になれば幸いです。講師は元・JSR鴨志田洋一先生。 ■はじ...

半導体プロセス技術レーザ海外進出イノベーション研究開発化学技術開発 EU 採用海外回路低コスト化トラブル新規事業リソグラフィレジスト事業計画 EUV

ウェビナー No.82496

2023/02/10 | 10:30～16:30

フォトレジスト材料の基本的な構成構造，材料設計および高感度化

化学

ウェビナー No.102972

2023/05/19 | 13:00-16:30

セミナー「高感度化フォトレジスト材料の設計術」の詳細情報 - ものづ...

フォトレジスト材料は、化学増幅型システムを基盤として、露光システムの変遷と共に進化をしてきた。その進化の変遷について、高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について解説する。さらに、KrF、A...

化学レジスト設計

ウェビナー No.151261

2024/01/24 | 10:30~16:15

EUVリソグラフィ技術、メタルレジスト材料の開発と課題【提携セミナー...

本講座では、フォトレジスト開発従事者による材料面からみたリソグラフィの歴史の理解。先端EUVレジストの課題とその解決検討状況の理解。国家プロジェクトの必要性と活用法の理解。などが習得できる知識です。

EU リソグラフィ EUV フォトレジスト

ウェビナー No.73789

2023/02/16 | 10:30-16:30

セミナー「レジスト・微細加工用材料の基礎・要求特性と最先端技術～...

メモリー、マイクロプロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。リソグラフィの先端の量産工程ではダブル/マルチパターニングに加えて、待ち望...

微細加工ナノ化学特許リソグラフィレジストナノインプリント照明ロードマップ