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ウェビナー No.48626

2022/09/26 | 10:30~16:30

リソグラフィ技術・レジスト材料の基礎と微細化・高解像度に向けた応...

本セミナーは、これまでの技術・材料開発の事例をまとめ、今後の効率的な技術開発・不良防止・トラブル対策への応用への指針とする。

ウェビナー No.48513

2022/09/29 | 10:30-16:30

セミナー「リソグラフィー/EUVリソグラフィー技術の基礎、最新技...

極端紫外線リソグラフィー(EUVL)技術は30年に開発期間を経て、7 nmおよび5 nm nodeの半導体デバイスの量産に適用されました。しかしながら、さらなる微細化に向けて多くの課題を抱えてい...

ウェビナー No.35303

2022/10/07 | 10:30-16:30

セミナー「半導体プロセス技術の基礎とノウハウおよびトラブル対策」...

近年、世界の半導体市場は急速に拡大しており、高機能デバイスの製造プロセスは高い技術水準と競争力が求められています。これらのプロセス技術の基礎を幅広く理解することにより、各種トラブルへの対処およ...

アーカイブ No.47831

セミナー「メタマテリアルの基礎とメタサーフェスの設計・製作および...

自然界にない光学特性を示す人工物質であるメタマテリアルは、製作の困難さから光の波長における製作例は少ない。一方リソグラフィ技術の進展によって、平面的な構造を容易に製作することが可能となった。金...

アーカイブ No.11327

セミナー「半導体入門講座【2】 ~半導体デバイスの作り方~ウエハ工...

半導体デバイス製造のウエハ工程について、その全体像を初心者・入門者でも理解できるようになるセミナー!実際の工場での工程の流れ、基本的な形づくりの考え方、形づくりにかかわる工程とそれ以外の工程につ...

アーカイブ 視聴無料 No.6088

「電子ビーム露光とマスクレス露光の連携によるリソグラフィ」 - You...

第5回 微細加工プロセス技術セミナー(2021年1月13日) 【プラットフォーム技術紹介】 講師:東京工業大学 宮本恭幸 ポイントビームによる電子ビーム露光は微細構造形成には有力なツールですが、...