2022/09/22 | 10:30~16:15
レジスト材料の高感度、高解像度化と欠陥対策
リソグラフィの最新動向とレジスト材料への要求特性、EUVリソグラフィ用フォトレジストの開発動向と高感度、高解像度化、レジスト材料の付着性解析と欠陥、トラブル対策について講演する。
2022/09/22 | 10：30～16：15
レジスト材料の 高感度、高解像度化と欠陥対策
メモリー、マイクロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。リソグラフィは現在先端の量産で用いられているダブル/マルチパターニングに加えて...
2022/12/07 | 10:30～16:15
EUVリソグラフィの発展・課題と レジスト材料・技術の研究・開発動向...
第1部では、マスク吸収体材料、Stochastic Errorに対応レジスト、ペリクルなど、新しい材料開発が進むEUVリソグラフィー全体の要素技術・課題・展望について、当技術の先駆者である木下氏...
2022/12/07 | 10:30～16:15
EUVリソグラフィの発展・課題とレジスト材料・技術の研究・開発動向【...
2017年EUV光源パワーが250Wを達成したことにより、2019年の7nmノードからの本格的な量産が開始された。現在5nmノードまで進展し、Critical layer数層から10数層へと加工...
2022/12/12 | 12/12 13:00～17:00
常温型フッ素コーティングによる防湿・絶縁・耐酸・撥水・撥油・離型...
透明で常温乾燥が可能なフッ素コーティング剤の基本原理、構造、評価、使用方法について説明いたします。また、現在盛んに行われているプリント配線板の防湿コーティング、LED の硫化防止やリチウム電池...
2022/12/14 〜 2022/12/26
セミナー「常温型フッ素コーティングによる防湿・絶縁・耐酸・撥水・...
透明で常温乾燥が可能なフッ素コーティング剤の基本原理、構造、評価、使用方法について説明いたします。また、現在盛んに行われているプリント配線板の防湿コーティング、LED の硫化防止やリチウム電池...