2023/08/29 | 10:30 - 16:30

「EUVリソグラフィ・EUVレジスト」│基礎・最新開発動向から現状課題...

更なる適用拡大・研究開発進む、EUVリソグラフィをレジスト中心に解説！基本と課題から、EUVレジストへの要求特性と設計指針、最新市場・技術動向、注目技術メタルレジストまで。 ■はじめに： ...

2023/09/25 | 12:30 - 16:30

「EUVリソグラフィー　光源」 セミナー│次世代半導体リソグラフィー...

EUV光源技術の研究開発・高効率化〜次世代半導体リソグラフィーに向けて〜。EUVリソグラフィーの露光・光源技術を解説！ 半導体は「産業のコメ」から「産業のブレイン」へ。高性能化・省エネ化を急ぐ ...

2023/06/07 | 13:30~16:30

2023年6月7日開講。WEBセミナー。「ArFリソグラフィ～EUVリソグラフィ...

2023年6月7日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の リソテックジャパン株式会社/大阪公立大学　関口　淳氏のご講演。ArFリソグラフィ～EUVリソグラフィ...

2023/06/09 | 10:30-16:30

セミナー「リソグラフィ技術の開発動向とレジスト材料への要求特性、...

メモリー、マイクロプロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。リソグラフィは現在先端の量産で用いられているダブル/マルチパターニングに加...

2023/07/10 | 10:30 - 16:30

リソグラフィプロセスとレジスト材料技術セミナー

g,i-線から今後需要拡大が見込まれるEUVレジストまでをわかりやすく解説！半導体産業の現状と課題を整理し、今後の展望を考える機会になれば幸いです。講師は元・JSR鴨志田洋一先生。 ■はじ...

2023/06/21 | 10:30-16:30

セミナー「レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策」の詳細情...

リソグラフィの基礎、レジスト材の高性能化、評価技術、最近のリソグラフィ技術 セミナー終了後に個別相談会（希望者のみ）を実施！セミナー内容に関する質問や現場での困りごとを相談できます！

2023/06/26 〜 2023/07/07

セミナー「レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策【アーカイ...

～リソグラフィの基礎、レジスト材の高性能化、評価技術、最近のリソグラフィ技術～ このセミナーはアーカイブ配信です。配信期間中（2023年6月26日～7月7日）は、いつでも何度でも視聴できます！

2023/06/09 | １０：３０～１６：３０

リソグラフィ技術の開発動向と レジスト材料への要求特性、トラブル対...

本講演では、最新のロードマップを紹介し、EUVを中心としたリソグラフィの最先端技術、開発動向、レジスト材料への要求特性について解説する。量産工程で実際に起こるレジスト材料のトラブルについて、その...

2023/09/13 | 10:30 - 16:30

フォトレジスト材料の基礎と開発・設計指針 ～合成・評価法からEUV用...

■はじめに 2019年、30年にもおよんだ長い検討期間を経て、ついにEUVリソグラフィが量産適用された。しかしながら、適用された各技術は、まだ序章に過ぎず多くの課題を抱えている。言い換えると、...

2023/06/21 | 10:30～16:30

レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策【LIVE配信】 | セミナ...

習得できる知識 ・レジストを製造するための基礎知識、設計概念と具体的方法 ・レジストの品質管理手法 ・レジストを使用する際の留意事項、トラブル対応能力 ・リソグラフィープロセスの最適化方...

2023/12/08 | 10:30-16:30

リソグラフィー技術の基礎とフォトレジストの評価方法《研究開発、製...

本講座では、バーチャル・リソグラフィ評価方法の解説を中心に、リソグラフィーの基礎から、最新のフォトレジスト材料の評価方法について述べたいと思います。

2024/01/23 | 13:00-17:30

2024年1月23日開講。WEBセミナー。「EUVリソグラフィおよびレジスト開...

2024年1月23日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の 兵庫県立大学　渡邊　健夫　氏、鴨志田技術事務所　鴨志田　洋一　氏、富士フイルム株式会社　藤森　亨　...

2023/07/25 | 13:00-16:00

セミナー「EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術」の詳細情報 - ...

情報システム社会の発展は目覚ましく、パーソナルコンピュータは今や一人一台を所有する。最近では、スマートフォンが手のひらコンピューティングを可能にするなど、私たちの生活を劇的に変えている。また 、...

2023/07/07 | 13:00 - 16:30

レジスト材料・プロセス

「レジストプロセスの最適化と特性評価法」・本セミナーでは、レジスト材料開発・処理装置技術者及びユーザー、リソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、半導体をはじめとしたレジスト材料プロセス技...

2023/10/16 | 10:30-16:30

セミナー「リソグラフィ技術・レジスト材料の基礎と微細化・高解像度...

今日の情報化社会は、マイクロエレクトロニクス(ME)の発展に支えられている。MEは、1950年代に集積回路(IC)が開発されて以来、大規模集積回路(LSI)のパターンの微細化、高集積化、すなわち...

2023/08/31 | 13:00-17:00

セミナー「半導体フォトレジスト・材料の基礎と応用展開・トラブル対...

半導体・ディスプレイ・電子素子・5感センサー等の高機能化にリソグラフィ加工は非常に有用である。 この加工技術において使用されるフォトレジストは、リソグラフィ技術のキーとなる電子材料である。 ...

2023/09/14 | 9:55-16:00

セミナー「最先端リソグラフィ／レジスト材料の開発動向」の詳細情報...

EUVリソグラフィと光源の開発動向、およびレジスト・微細加工材料の開発動向について詳細に解説して頂くことによって、関連業界の方々の今後の事業に役立てていただくことを目的とします。

リソグラフィーや3Dプリンタ発展の決め手は「高出力紫外線LED」

LEDの面積を変えずに小型化・高出力に寄与、LuminusDevicesのUV-A LEDをご紹介​ 硬化装置、マスクレスリソグラフィー、3Dプリンティングなどの次世代アプリケーションは、...

2024/02/06 | 10:00-16:30

2024年2月6日開講。WEBセミナー。「EUVリソグラフィ技術と半導体微細...

2024年2月6日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の九州大学　溝口　計　氏、東京工業大学　鈴木　一明　氏、富士フイルム株式会社　藤森　亨　氏、東京エレクト...

2024/01/24 | 10:30~16:15

EUVリソグラフィ技術、メタルレジスト材料の開発と課題【提携セミナー...

本講座では、フォトレジスト開発従事者による材料面からみたリソグラフィの歴史の理解。先端EUVレジストの課題とその解決検討状況の理解。国家プロジェクトの必要性と活用法の理解。などが習得できる知識です。