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ウェビナー
No.45844
2022/09/22 | 10:30~16:15
レジスト材料の 高感度、高解像度化と欠陥対策
メモリー、マイクロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。リソグラフィは現在先端の量産で用いられているダブル/マルチパターニングに加えて...
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No.115849
2023/06/21 | 10:30~16:30
レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策【LIVE配信】 | セミナ...
習得できる知識 ・レジストを製造するための基礎知識、設計概念と具体的方法 ・レジストの品質管理手法 ・レジストを使用する際の留意事項、トラブル対応能力 ・リソグラフィープロセスの最適化方...
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No.48561
2022/09/22 | 10:30~16:15
レジスト材料の高感度、高解像度化と欠陥対策
リソグラフィの最新動向とレジスト材料への要求特性、EUVリソグラフィ用フォトレジストの開発動向と高感度、高解像度化、レジスト材料の付着性解析と欠陥、トラブル対策について講演する。