2022/09/22 | 13:00~16:00
大気圧・真空プラズマ技術を用いた各種表面処理プロセス技術
従来のウェットプロセスとプラズマプロセスなどのドライプロセスとの比較を通して、プラズマプロセスの特徴をより深く学べる! ご聴講者の皆様の現在の技術課題の解決にプラズマを用いることができるか、また...
2022/09/26 | 10:00-17:00
セミナー「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向...
Atomic Layer Deposition(ALD、原子層堆積法)による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに...
2022/10/20 | 10:30~16:30
プラズマ生成の基礎・現象の理解と半導体微細加工・エッチングプロセ...
本講座はプラズマの性質やプラズマ中で起こっている基本的な現象(電離、解離、拡散、消滅)を解説するとともに、半導体微細加工において重要なパラメータとなる壁へのイオンや化学活性種のフラックス量がどの...
2022/10/21 | 10:30-16:30
プラスチックにおける接着の基礎と表面処理方法
プラスチックの表面処理はほとんどの場合接着性向上のために行われる。これには物理的な方法と化学的な方法がある。物理的処理の代表格はコロナ処理である。最近は大気圧プラズマ処理と言う方法もかなりポピュ...
2022/11/08 | 10:30~16:30
プラズマの生成、制御、計測技術と プロセスへの応用
本講座では、半導体製造プロセスなどでよく用いられる低圧力プロセス用プラズマを念頭に、プラズマの生成・制御を行うための基礎とともに、プラズマに接した固体表面で起こるプラズマ・表面相互作用の基礎を取...
2022/11/11 | 13:00-16:30
セミナー「ALE(アトミック レイヤー エッチング)技術の基本原理と最...
エッチング 半導体 研究開発 ウェットエッチング プラズマ 膜 通信 イノベーション 金属
2022/11/28 | 10:30~16:30
大気圧プラズマの必須基礎知識と産業応用技術【LIVE配信】 | セミナー...
本セミナーでは,はじめに大気圧プラズマの発生方法と発生メカニズムの基礎について実例をあげわかりやすく解説します。次に講師が開発した大気圧プラズマ複合表面処理プロセスの基礎と応用例ならびに大気圧プ...