2022/06/28 | 10:30~17:30
デジタルツイン技術の基礎とスマートものづくりへの応用 ~ デモ付 ...
最近、いろいろな場所・場面でデジタルツインという言葉を聞くようになりました。デジタルツインと聞いて、デジタル空間にフィジカル空間のモデルを作ることを直感的に思い浮かべる人は多いと思います。しか...
2022/06/28 | 10:30~17:30
デジタルツイン技術の基礎とスマートものづくりへの応用 ~ デモ付 ...
最近、いろいろな場所・場面でデジタルツインという言葉を聞くようになりました。デジタルツインと聞いて、デジタル空間にフィジカル空間のモデルを作ることを直感的に思い浮かべる人は多いと思います。しかし...
2022/07/27 | 10:00~17:00
プラズマ生成の基礎とプラズマCVD(化学気相堆積)による高品質成膜...
産業界で高品質なプラズマCVD膜の得るための仕事に従事する方々は、プラズマ源の選定から装置パラメータの設定に至る意思決定をする立場にあると思います。この意思決定を適切に行うためには、各種のプラ...
2022/09/22 | 13:00~16:00
大気圧・真空プラズマ技術を用いた各種表面処理プロセス技術
従来のウェットプロセスとプラズマプロセスなどのドライプロセスとの比較を通して、プラズマプロセスの特徴をより深く学べる! ご聴講者の皆様の現在の技術課題の解決にプラズマを用いることができるか、また...
2022/09/26 | 10:00-17:00
セミナー「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向...
Atomic Layer Deposition(ALD、原子層堆積法)による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに...
2022/10/20 | 10:30~16:30
プラズマ生成の基礎・現象の理解と半導体微細加工・エッチングプロセ...
本講座はプラズマの性質やプラズマ中で起こっている基本的な現象(電離、解離、拡散、消滅)を解説するとともに、半導体微細加工において重要なパラメータとなる壁へのイオンや化学活性種のフラックス量がどの...
2022/10/21 | 10:30-16:30
プラスチックにおける接着の基礎と表面処理方法
プラスチックの表面処理はほとんどの場合接着性向上のために行われる。これには物理的な方法と化学的な方法がある。物理的処理の代表格はコロナ処理である。最近は大気圧プラズマ処理と言う方法もかなりポピュ...
2022/11/08 | 10:30~16:30
プラズマの生成、制御、計測技術と プロセスへの応用
本講座では、半導体製造プロセスなどでよく用いられる低圧力プロセス用プラズマを念頭に、プラズマの生成・制御を行うための基礎とともに、プラズマに接した固体表面で起こるプラズマ・表面相互作用の基礎を取...
2022/11/11 | 13:00-16:30
セミナー「ALE(アトミック レイヤー エッチング)技術の基本原理と最...
エッチング 半導体 研究開発 ウェットエッチング プラズマ 膜 通信 イノベーション 金属