2023/05/31 | 10:30 - 16:30

EUVプラズマ計測技術セミナー

EUVプラズマの診断や制御のための計測技術〜「光る理由」を可視化する〜。EUV光源用プラズマの概要がわかる1日セミナーです。プラズマに興味があれば、特に決まった予備知識は必要ありません。 ...

2023/04/21 | 10:30-16:30

セミナー「大気圧プラズマの基礎知識と評価手法、最近の産業応用につ...

大気圧プラズマは、真空容器が必要なく、まるでカラースプレーを吹きかけるかのようにプラズマ処理を行えるのが特徴である。このため、大気圧プラズマの導入は比較的敷居が低い。その反面、プラズマの基礎知...

【英語】マイコプラズマ検査：過去、現在、そして未来の状態

30 年近くにわたり、生物製剤のマイコプラズマ検査は、細胞培養ベースの方法を使用して実施されてきました。公定書によるマイコプラズマ検出法は、バイオ医薬品業界のゴールド スタンダードとなっています...

2022/11/08 | １０：３０～１６：３０

プラズマの生成、制御、計測技術と プロセスへの応用

本講座では、半導体製造プロセスなどでよく用いられる低圧力プロセス用プラズマを念頭に、プラズマの生成・制御を行うための基礎とともに、プラズマに接した固体表面で起こるプラズマ・表面相互作用の基礎を取...

2023/06/20 | 12:30 - 16:30

「プラズマによる表面改質技術」：プラズマ、接触角、表面張力、表面...

最近注目されている各種ドライプロセスの中で、プラズマによる表面改質に注目し、プラズマ照射により材料表面で生じている現象や界面化学の観点による解説から、各種材料（金属、ポリマー等）の表面改質や機能...

2023/12/04 | 12:30～16:30

プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門【LIVE配信】 | セミ...

プラズマは現在では産業の広い分野で日常的に使われています。しかし、プラズマの原理やプラズマを用いることの利点については、あまり系統的に学ぶ機会がないと思います。現在の応用だけでなく、今後道具とし...

2023/12/05 〜 2023/12/19

プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門【アーカイブ配信】...

プラズマは現在では産業の広い分野で日常的に使われています。しかし、プラズマの原理やプラズマを用いることの利点については、あまり系統的に学ぶ機会がないと思います。現在の応用だけでなく、今後道具とし...

【ウェビナー情報】最新鋭ハイスピードカメラで見る プラズマの可視化...

「最新鋭ハイスピードカメラで見る プラズマの可視化 最新事例とその手法」 【目次】 ・0:00 OP ・1:45 プラズマ現象について ・4:24 プラズマを可視化する速度/波長/光学系...

2023/05/31 | 10:30-16:30

セミナー「EUVプラズマの診断や制御のための計測技術～「光る理由」を...

シリコン半導体デバイスのさらなる微細化をコスト面から支えるためには、高スループットの露光装置が不可欠であり、極端紫外(EUV)露光光源（波長13.5 nm）の高出力化が強く望まれている。光源は、...

2022/11/18 | 10:30 ~ 17:30

ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング（ALE）技術による高精...

～ 反応性イオンエッチング（RIE）の基礎、原子層堆積（ALD)の原理、特長、仕組み、ALEプロセスの概要と最新技術・動向、半導体プロセス分野のDX ～ ・原子レベルの精密なエッチング制御性と...

2023/07/28 | 10:30-16:30

セミナー「＜半導体製造において必須：プラズマプロセッシング＞プラ...

さまざまな表面化学反応を低温で実現できるプラズマプロセスは半導体製造において必須のプロセスです。 　本講座はプラズマの性質やプラズマ中で起こっている基本的な現象（電離、解離、拡散、消滅）を解説...

2022/11/28 | 10:30～16:30

大気圧プラズマの必須基礎知識と産業応用技術【LIVE配信】 | セミナー...

本セミナーでは，はじめに大気圧プラズマの発生方法と発生メカニズムの基礎について実例をあげわかりやすく解説します。次に講師が開発した大気圧プラズマ複合表面処理プロセスの基礎と応用例ならびに大気圧プ...

2022/12/02 〜 2022/12/16

セミナー「大気圧プラズマの必須基礎知識と産業応用技術【アーカイブ...

本セミナーでは，はじめに大気圧プラズマの発生方法と発生メカニズムの基礎について実例をあげわかりやすく解説します。次に講師が開発した大気圧プラズマ複合表面処理プロセスの基礎と応用例ならびに大気圧プ...

段差計や膜厚測定は不要！プラズマ処理効果を色差測定で可視化・定量...

プラズマの面内分布から、装置内のプラズマ漏れ分析にも プラズマ効果を“250円”で可視化できるとして話題のプラズマインジケータ『PLAZMARK』。本プログラムでは、プラズマ装置の稼働テス...

プラズマ効果を“250円”で可視化！プラズマインジケータとは？

用途解説！プラズマ装置の稼働テストや装置の劣化原因追求も 【気になる最新製品・技術を展示会場で突撃インタビュー！＠SEMICON JAPAN 2021】 意外と知られていない『プラズマイ...

2022/09/30 | 13:30-17:30

セミナー「大気圧プラズマの基礎・装置開発の現状と各種応用展開」の...

大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず、また高密度な活性種を生成できるため、産業応用には大変多くのメリットがあります。このため、材料表面の親水化処理、接着性の向上、クリーニング等の分野を...

2022/09/30 | 13:30-17:30

大気圧プラズマの基礎・装置開発の現状と各種応用展開

　大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず，また高密度な活性種を生成できるため，産業応用には大変多くのメリットがあります。このため，材料表面の親水化処理，接着性の向上，クリーニング等の分野...

2022/12/08 | 13:30-17:30

セミナー「大気圧プラズマの基礎・装置開発の現状と各種応用展開」の...

大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず、また高密度な活性種を生成できるため、産業応用には大変多くのメリットがあります。このため、材料表面の親水化処理、接着性の向上、クリーニング等の分野を...

2023/03/10 | 10:30-16:30

セミナー「半導体ドライエッチングの基礎と最新技術」の詳細情報 - も...

本講座では、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説する。具体的には、ドライエッチングに用いられるプラズマ装置、装置内のプラズマの構造やダイナミ...

2024/02/26 | 10:30～16:30

半導体ドライエッチングの基礎と最新技術【LIVE配信】 | セミナーのこ...

本講座では、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説する。具体的には、ドライエッチングに用いられるプラズマ装置、装置内のプラズマの構造やダイナミ...