2023/07/07 | 13:00 - 16:30

レジスト材料・プロセス

「レジストプロセスの最適化と特性評価法」・本セミナーでは、レジスト材料開発・処理装置技術者及びユーザー、リソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、半導体をはじめとしたレジスト材料プロセス技...

2023/11/30 | 13:00-16:30

セミナー「レジストの技術・材料・プロセス・装置の総合知識」の詳細...

現在、レジスト材料は、半導体、ディスプレイ、プリント基板、太陽電池、MEMS等の多くの電子産業分野において、世界市場で実用化されています。その市場規模は、年間1500億円におよび年々拡大していま...

2023/08/31 | 13:00-17:00

セミナー「半導体フォトレジスト・材料の基礎と応用展開・トラブル対...

半導体・ディスプレイ・電子素子・5感センサー等の高機能化にリソグラフィ加工は非常に有用である。 この加工技術において使用されるフォトレジストは、リソグラフィ技術のキーとなる電子材料である。 ...

2023/09/13 | 10:30 - 16:30

フォトレジスト材料の基礎と開発・設計指針 ～合成・評価法からEUV用...

■はじめに 2019年、30年にもおよんだ長い検討期間を経て、ついにEUVリソグラフィが量産適用された。しかしながら、適用された各技術は、まだ序章に過ぎず多くの課題を抱えている。言い換えると、...

2024/03/14 | 10:30-16:50

2024年3月14日開講。WEBセミナー。「次世代レジストにおける技術開発...

2024年3月14日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の 関西大学　工藤　宏人　氏、量子科学技術研究開発機構　山本　洋揮　氏、リソテックジャパン株式会社／大...

2024/01/22 | 10:30～16:30

フォトレジスト材料の基本的な構成構造，材料設計および高感度化【提...

フォトレジスト材料は，化学増幅型システムを基盤として，露光システムの変遷と共に進化をしてきた。その進化の変遷について，高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について解説する。さらに，KrF，A...

2023/11/30 | 13:00～16:30

レジストの技術・材料・プロセス・装置の総合知識【提携セミナー】 |...

レジスト材料開発、およびレジスト処理装置関連の技術者、レジストユーザー、リソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、フォトレジスト材料の特性、プロセスの最適化、付着・濡れ・欠陥といった各種ト...

2023/12/08 | 10:30-16:30

リソグラフィー技術の基礎とフォトレジストの評価方法《研究開発、製...

本講座では、バーチャル・リソグラフィ評価方法の解説を中心に、リソグラフィーの基礎から、最新のフォトレジスト材料の評価方法について述べたいと思います。

2024/01/24 | 10:30~16:15

EUVリソグラフィ技術、メタルレジスト材料の開発と課題【提携セミナー...

本講座では、フォトレジスト開発従事者による材料面からみたリソグラフィの歴史の理解。先端EUVレジストの課題とその解決検討状況の理解。国家プロジェクトの必要性と活用法の理解。などが習得できる知識です。

2023/07/31 | 13:30-17:00

セミナー「高感度化フォトレジスト材料の入門」の詳細情報 - ものづく...

フォトレジスト材料は、化学増幅型システムを基盤として、露光システムの変遷と共に進化してきた。前半は、その進化の変遷について、高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について、基礎的な原理を交えて...

2023/07/10 | 10:30 - 16:30

リソグラフィプロセスとレジスト材料技術セミナー

g,i-線から今後需要拡大が見込まれるEUVレジストまでをわかりやすく解説！半導体産業の現状と課題を整理し、今後の展望を考える機会になれば幸いです。講師は元・JSR鴨志田洋一先生。 ■はじ...

2023/07/31 | 13:30～17:00

【オンラインLive配信・WEBセミナー】 高感度化フォトレジスト材料の...

■講演主旨： 　フォトレジスト材料は、化学増幅型システムを基盤として、露光システムの変遷と共に進化して きた。前半は、その進化の変遷について、高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について...

2023/10/16 | 10:30-16:30

セミナー「リソグラフィ技術・レジスト材料の基礎と微細化・高解像度...

今日の情報化社会は、マイクロエレクトロニクス(ME)の発展に支えられている。MEは、1950年代に集積回路(IC)が開発されて以来、大規模集積回路(LSI)のパターンの微細化、高集積化、すなわち...

2023/08/31 | 13:00-17:00

2023年8月31日開講。WEBセミナー講座。「半導体フォトレジスト・材料...

2023年8月31日開講。WEBセミナー講座。「半導体フォトレジスト・材料の基礎と応用展開・トラブル対策」第一人者の 元ナガセケムテックス　山田 氏に詳細なご講演をいただく講座。

セミナー「半導体入門講座【2】 ～半導体デバイスの作り方～ウエハ工...

半導体デバイス製造のウエハ工程について、その全体像を初心者・入門者でも理解できるようになるセミナー！実際の工場での工程の流れ、基本的な形づくりの考え方、形づくりにかかわる工程とそれ以外の工程につ...

2023/07/31 | 13:30-17:00

2023年7月31日開講。WEBセミナー。「高感度化フォトレジスト材料の入...

2023年7月31日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の関西大学　工藤　宏人　氏のご講演。 高感度化フォトレジスト材料の入門～化学増幅型レジストからメタルレ...

2023/10/26 | 11:00-16:00

WEBセミナー。「高感度化フォトレジスト材料の入門～化学増幅型レジス...

WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の関西大学　工藤　宏人　氏のご講演。 高感度化フォトレジスト材料の入門～化学増幅型レジストからメタルレジストまでの基礎から・ 材...

セミナー「光硬化型材料の基礎の理解と応用のポイント」の詳細情報 -...

光硬化型材料はコーティング、インキ、フォトレジスト等の表面加工技術として広く利用されています。 近年では、光の照射が及ばない領域での硬化もできるような技術も出てきました。このような流れを受けて...