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No.152352
電子部品、半導体デバイスにおけるEBSD/EDS分析の応用事例 - Nanoana...
電子線後方散乱回折(EBSD)はナノスケールにおいて結晶方位や結晶相分布など、微細構造解析のための有益なツールです。 電子部品においては、金属間化合物分布や微細領域でのひずみなどが製品の品質...
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