業界最大級!プラスチック成形の未来が見える4日間!企業合同ウェビナー
第3回Green Molding Webinar Week|7月2日〜7月5日|視聴無料
2023/08/07 | 13:00~17:00
酸化ガリウムパワーデバイスの最新技術・研究開発動向と今後の展開【...
本講演では、Ga2O3パワーデバイスの位置づけ・魅力、現在までのバルク・基板、エピタキシャル薄膜成長、デバイス(トランジスタ、ショットキーバリアダイオード)の研究開発状況、今後に向けた課題および...
2023/08/07 | 13:00~17:00
酸化ガリウムパワーデバイスの最新技術・研究開発動向と今後の展開【...
■趣旨: 酸化ガリウム (Ga2O3) は、次世代パワーデバイス用途の新半導体材料として期待されるに足る、 優れた材料物性を有する。また、原理的に大口径かつ高品質な単結晶基板を、融液成長法...
2023/11/30 | 10:00~16:00
ALD(原子層堆積)/ ALE(原子層エッチング)技術の基礎と応用 | CMC...
本セミナーでは、近年、特に注目を浴びているALD(原子層堆積)/ALE(原子層エッチング)技術について、その基礎と応用について概説する。特に、堆積の原理や材料について詳しく紹介する。また、LSI...
2023/12/15 | 10:00〜16:30
膜質制御法・膜応力低減法・密着力向上習得のための スパッタリング成...
成膜・薄膜形成の基礎,膜質制御・剥離対策に必要な知識,膜応力や密着力の評価方法,管理に必要な知識について,豊富な経験に基づき徹底解説する特別セミナー!!
2023/12/04 〜 2023/12/19 | 12/4 12:30~16:30
プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門【提携セミナー】 |...
☆薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられるプラズマの生成機構や特徴について解説します! ☆プラズマCVDやドライエッチングの原理、装置の構造、処理条件の最適化法など解説します!
2023/12/20 | 13:00~17:00
ミストCVD法の基礎と酸化ガリウムのパワーデバイスへ向けた結晶成長・...
低コストの成膜方法として期待されているミストCVD法と、大きなバンドギャップと低コストで形成できる酸化ガリウム(Ga2O3)について紹介する。パワーデバイス応用に重要な不純物添加技術や混晶化技術...
2023/12/04 | 12:30~16:30
プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門【LIVE配信】 | セミ...
プラズマは現在では産業の広い分野で日常的に使われています。しかし、プラズマの原理やプラズマを用いることの利点については、あまり系統的に学ぶ機会がないと思います。現在の応用だけでなく、今後道具とし...