走査電子顕微鏡 (SEM) で試料表面の局所的な電位差を確認する方法として、電位コントラスト (Voltage contrast :VC) 法があります。VC法は半導体デバイスの内部配線が設計通...
熱機械分析(TMA)は、温度の関数としての材料の寸法変化を測定するために使用されます。TMAは、DSC、TGA、DMAを補完する最も重要な熱分析技術の一つです。 TMAでは、膨張係数と軟化温度を...