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アーカイブ No.148302

2024/02/28 〜 2024/03/13

超臨界流体の基礎と半導体プロセスへの応用【アーカイブ配信】 | セミ...

超臨界流体とは、物質が高圧で気体とも液体ともつかなくなった状態のことで、表面張力がゼロで、高い拡散性と密度を併せ持ち、溶媒として振る舞う不思議な性質を持っています。超臨界流体、特に超臨界二酸化炭...