2023/10/19 | 10:00~16:30
薄膜の剥離メカニズムと密着性改善【提携セミナー】 | アイアール技術...
本セミナーでは、薄膜の密着性の問題に実践的に対処する際に知っておくべき基本的な内容について、できるだけ平易に解説します。
2023/10/27 | 13:00-17:00
セミナー「ALDの基礎と原料の開発・選択」の詳細情報 - ものづくりド...
ALD(Atomic Layer Deposition)技術の基礎とALDの原料として用いられる有機金属化合物の一般的特徴。ALD用原料としての揮発可能な原料の開発指針。多種原料の特徴とどれがA...
2023/11/10 | 10:30 ~ 17:30
真空および真空成膜技術の基礎と機能性薄膜作成におけるトラブル事例...
~ 成膜と真空、真空工学・成膜技術のポイント、真空利用の成膜システムにおけるトラブル事例と解決法とコツ ~ ・真空技術の基礎から学び、成膜技術への応用に活かすためのノウハウを修得する講座 ...
2023/11/17 | 13:00~16:30
B231137: 遷移金属ダイカルコゲナイドの物性・合成・薄膜形成とデバイ...
二次元層状物質の代表格である遷移金属ダイカルコゲナイド(Transition Metal Dichalcogenide ; TMDC)は、二次元性を舞台とした基礎物性研究の対象としてだけでなく、...
2023/11/30 | 10:00~16:00
ALD(原子層堆積)/ ALE(原子層エッチング)技術の基礎と応用 | CMC...
本セミナーでは、近年、特に注目を浴びているALD(原子層堆積)/ALE(原子層エッチング)技術について、その基礎と応用について概説する。特に、堆積の原理や材料について詳しく紹介する。また、LSI...
2023/12/04 | 12:30~16:30
プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門【LIVE配信】 | セミ...
プラズマは現在では産業の広い分野で日常的に使われています。しかし、プラズマの原理やプラズマを用いることの利点については、あまり系統的に学ぶ機会がないと思います。現在の応用だけでなく、今後道具とし...
2023/12/04 | 12:30~16:30
プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門
本セミナーでは、まず前半で薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられるプラズマ(非平衡プラズマと呼ばれる)の生成機構や特徴について解説します。後半ではそれらを踏まえて、プラズマCV...