2022/09/02 | 10:30～16:30
今注目のALD（原子層堆積法）およびALE（原子層エッチング）の基礎と...
AIや5GなどIoT技術の進歩を支えている半導体加工技術において、高機能な薄膜を形成することは、非常に重要である。薄膜形成技術については、古くからいろいろな手法が開発され、LSI、ディスプレイ、...
2022/09/13 | 10:00～16:30
スパッタ・真空蒸着と膜質改善技術の徹底解説
スパッタや真空蒸着によって薄膜を作成しようとする場合に頻繁に問題となる膜質制御や剥離対策にテーマに絞り、その基本となる考え方から現象の詳細、評価方法と材料設計への活かし方、対策に至るまでを具体的...
2022/09/16 | 12:30-16:30
MOFの構造・特徴・作製方法と今後の応用可能性
本セミナーでは一般的なMOF合成法を解説するとともに、金属ナノ粒子などとの複合化やMOF薄膜作製法などについて解説します。
2022/09/26 | 10:00-17:00
セミナー「ＡＬＤ（原子層堆積法）の基礎と高品質膜化および最新動向...
Atomic Layer Deposition（ALD、原子層堆積法）による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに...
2022/10/13 | 10:30-16:30
セミナー「ミストCVD技術の詳細と酸化ガリウムの結晶成長・薄膜形成技...
ミスト流を利用した機能膜作成手法に関して、経緯、歴史、作製膜の特性、デバイス、ミストCVDに関する物理、次世代へ向けた開発の方向性等、詳しく説明します。 酸化ガリウムのデバイスを作製する...
2022/10/18 | 13:00～16:30
インクジェット成膜におけるマランゴニ変形とその効果
セミナー趣旨 インクジェット成膜でマランゴニ対流（表面張力差対流）はどのようなメカニズムで薄膜形状に影響するか？数値シミュレーション、成膜実験を紹介しながら、「コーヒーリング効果」から「マラ...
2022/10/20 | 13:00～16:30
ポリマー系有機半導体材料の開発最前線
有機デバイス・ポリマー系有機半導体の基礎、構造と物性の相関、高移動度化・変換効率向上に向けた設計手法、有機TET・有機薄膜太陽電池への応用など、基礎から最新の開発動向・今後の展望までを詳しく解説...