2023/11/22 | 12:30-16:30
真空技術の基礎と真空システムの構築方法【提携セミナー】 | アイアー...
本セミナーでは真空技術について基礎から実践まで幅広く説明します。真空そのものの基礎的な話に加え、真空装置に欠かせないプラズマの話、また、具体的な真空装置の構成や周辺のインフラ設備に関してまで幅広...
2023/12/04 | 12:30～16:30
プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門
本セミナーでは、まず前半で薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられるプラズマ（非平衡プラズマと呼ばれる）の生成機構や特徴について解説します。後半ではそれらを踏まえて、プラズマCV...
2023/12/04 | 12:30～16:30
プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門【LIVE配信】 | セミ...
プラズマは現在では産業の広い分野で日常的に使われています。しかし、プラズマの原理やプラズマを用いることの利点については、あまり系統的に学ぶ機会がないと思います。現在の応用だけでなく、今後道具とし...
2023/11/20 〜 2023/12/13 | 11/20 10:00～17:00
プラズマ生成の基礎とプラズマCVD(化学気相堆積)による高品質成膜プロ...
本講座では、プラズマＣＶＤによって高品質膜を得ようとした際の意思決定に関わる物理的・化学的なメカニズムを理解して頂くことを趣旨としました。
2023/12/04 〜 2023/12/19 | 12/4 12:30～16:30
プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門【提携セミナー】 |...
☆薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられるプラズマの生成機構や特徴について解説します！ ☆プラズマCVDやドライエッチングの原理、装置の構造、処理条件の最適化法など解説します！
2023/12/05 〜 2023/12/19
プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門【アーカイブ配信】...
プラズマは現在では産業の広い分野で日常的に使われています。しかし、プラズマの原理やプラズマを用いることの利点については、あまり系統的に学ぶ機会がないと思います。現在の応用だけでなく、今後道具とし...
2024/01/31 | 10:30～17:00
大気圧プラズマの基礎と最新応用技術【提携セミナー】 | アイアール技...
大気圧プラズマの基礎と新しい装置開発および各種応用の現状、大気圧プラズマの環境浄化および表面処理への応用について解説します。
2024/01/31 | 10:30～17:00
B240121:大気圧プラズマの基礎と最新応用技術 | 技術セミナーの開催・...
真空容器や排気設備を必要とせず、高密度な活性種を生成できるなどといった特徴を持つ大気圧プラズマ。本セミナーでは、その大気圧プラズマの各種生成法やその特徴といった基礎と２名の講師がそれぞれ取り組む...