2023/02/17 | 10:00~17:00
真空成膜技術の基礎と機能性薄膜への応用およびトラブル解決法【WEBセ...
成膜技術は社会インフラを変え、人々の日常生活に大きな恩恵を与えているだけでなく、科学技術そのものの発展を加速し続けている。しかし、その広範で高度な技術がために、同じ成膜技術者であっても、少し手法...
2023/04/25 | 10:30~16:30
スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング【LIVE...
スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な技術で、近年はさらに用途が拡大しています。しかし、量産技術をどのように確立し、品質をどのように改善するのかについての...
2023/04/27 〜 2023/05/02
スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング【アー...
スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な技術で、近年はさらに用途が拡大しています。しかし、量産技術をどのように確立し、品質をどのように改善するのかについての...
2023/07/25 | 10:00-16:00
セミナー「スパッタ・真空蒸着と膜質改善技術の徹底解説」の詳細情報...
本講演では、スパッタや真空蒸着によって薄膜を作成しようとする場合に頻繁に問題となる膜質制御や剥離対策にテーマに絞り、1)一つの技術課題とその解決のキーポイントの例示→2)その技術内容に関わる最低...
2023/08/22 | 10:30-16:30
セミナー「ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向」の...
Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成な...