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No.15537
2022/04/27 | 12:30-16:45
スマートウィンドウ技術・調光フィルム・シートの最新動向・課題・劣...
第1講 スマートウィンドウ技術、及び実用化の近い調光シートとその課題 【12:30-13:45】 講師:国立研究開発法人産業技術総合研究所 中部センター イノベーションコーデ...
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No.35174
2022/09/02 | 10:30-16:30
セミナー「今注目のALD(原子層堆積法)およびALE(原子層エッチング...
AIや5GなどIoT技術の進歩を支えている半導体加工技術において、高機能な薄膜を形成することは、非常に重要である。薄膜形成技術については、古くからいろいろな手法が開発され、LSI、ディスプレイ、...