2023/08/22 | 10:30-16:30
セミナー「ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向」の...
Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成な...
2023/08/08 | 10:30-16:30
セミナー「薄膜作製の基礎とトラブル対策 ~スパッタ、真空蒸着、CVD...
スパッタ法や真空蒸着法、化学気相成長(CVD)法は、先端材料研究をはじめ、電子デバイス,太陽電池,建材、さらには食品産業まで、さまざまな分野で使用されており、今や我々の生活と切っても切り離せない...
2023/07/25 | 10:00~16:30
スパッタ・真空蒸着と膜質改善技術の徹底解説【LIVE配信】 | セミナー...
本講演では、スパッタや真空蒸着によって薄膜を作成しようとする場合に頻繁に問題となる膜質制御や剥離対策にテーマに絞り、1)一つの技術課題とその解決のキーポイントの例示→2)その技術内容に関わる最低...
2023/10/19 | 10:00~16:30
薄膜の剥離メカニズムと密着性改善【提携セミナー】 | アイアール技術...
本セミナーでは、薄膜の密着性の問題に実践的に対処する際に知っておくべき基本的な内容について、できるだけ平易に解説します。
2024/04/11 | 10:30~16:30
スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング【LIVE...
スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な技術で、近年はさらに用途が拡大しています。しかし、量産技術をどのように確立し、品質をどのように改善するのかについて...
2024/04/15 〜 2024/05/26
スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング【アー...
スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な技術で、近年はさらに用途が拡大しています。しかし、量産技術をどのように確立し、品質をどのように改善するのかについて...
2024/03/15 | 10:00~17:00
真空成膜技術の基礎と機能性薄膜作成におけるトラブルシューティング...
真空環境を使った各種成膜装置の背景にある物理を基礎から再認識してもらい、後半では機能性薄膜への応用例をトラブルと失敗対策とともに紹介する。
2024/02/06 | 10:00~16:00
ALDプロセス(原子層堆積)の反応機構、薄膜形成とその応用事例【提携...
本セミナーでは、近年、特に注目を浴びているALD(原子層堆積)技術やALE(原子層エッチング)技術について、その基礎と応用について概説する。特に、堆積やエッチングの原理や材料について詳しく紹介す...
光学材料製品の分光特性評価に最適なCary7000多角度可変自動測定分光...
光学材料、薄膜、フィルムなどを安定・迅速に測定可能な紫外可視分光光度計のご紹介 Cary 7000 多角度可変自動測定分光光度計は、入射角度及び検出角度が可変で任意に設定でき、絶対反射率や透過率...
新技術!光干渉式膜厚計による「薄膜・ウェハ厚の全面測定」
2000点分を一瞬で撮影!高品質半導体の製造を実現するカギ 近年需要増加が止まることのない半導体。しかし、半導体に欠かすことができない膜厚を測定する機能は不十分な状況です。そのような状況に...
2023/06/16 | 13:00-16:00
セミナー「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」の...
原子層堆積法は、ナノの酸化物薄膜を複雑形状にもコンフォーマルで形成できることから、LSI製造に利用されています。近年では、LSIのみならず、MEMS、太陽電池、機械部品、PETボトルへのコーティ...