2023/08/29 | 10:00～16:00

ALD（原子層堆積）/ ALE（原子層エッチング）技術の基礎と応用

　AIや5GなどIoT技術の進歩を支えている半導体加工技術において、高機能な薄膜を形成することは、非常に重要である。薄膜形成技術については、古くからいろいろな手法が開発され、LSI、ディスプレイ...

O230706:ＡＬＤ（原子層堆積法）技術の基礎・入門と応用展開

AIや5GなどIoT技術の進歩を支えている半導体加工技術において、高機能な薄膜を形成することは、非常に重要である。 　薄膜形成技術については、古くからいろいろな手法が開発され、LSI、ディスプ...

2023/08/29 | 10:30～16:30

精密な薄膜評価のための『分光エリプソメトリー』の基礎と測定・解析...

　分光エリプソメトリーは、スペクトルの豊富な情報量を活かした薄膜の膜厚測定、光物性評価が 可能で、精密な薄膜評価を必要とする様々な分野で広く利用されている。しかし、測定パラメータ ーの意味や...

2023/10/20 | 13:00-16:00

セミナー「塗布による高均質薄膜作製と応用事例」の詳細情報 - ものづ...

基材表面に機能を付与するために、溶液の塗布により薄膜を作る方法が広く用いられています。しかしながら、塗膜製造効率を向上させつつ、塗膜厚みのばらつきや、気泡・しわの形成など、塗膜形成におけるトラブ...

評価事例－自由自在な剥離角度、軽荷重、高速剥離、剥離観察による粘...

自由自在な剥離角度、軽荷重、高速剥離、剥離観察による粘着・機能性薄膜の密着性評価手法に解説します。自由自在な剥離角度、軽荷重、高速剥離、剥離観察による粘着・機能性薄膜の密着性評価手法に解説します。

評価事例－自由自在な剥離角度、軽荷重、高速剥離、剥離観察による粘...

自由自在な剥離角度、軽荷重、高速剥離、剥離観察による粘着・機能性薄膜の密着性評価手法に解説します。自由自在な剥離角度、軽荷重、高速剥離、剥離観察による粘着・機能性薄膜の密着性評価手法に解説します。

自由自在な剥離角度、軽荷重、高速剥離、剥離観察による粘着・機能性...

自由自在な剥離角度、軽荷重、高速剥離、剥離観察による粘着・機能性薄膜の密着性評価手法に解説します。自由自在な剥離角度、軽荷重、高速剥離、剥離観察による粘着・機能性薄膜の密着性評価手法に解説します。

2023/11/30 | 10:00-16:00

セミナー「ALD（原子層堆積）/ ALE（原子層エッチング）技術の基礎と...

AIや5GなどIoT技術の進歩を支えている半導体加工技術において、高機能な薄膜を形成することは、非常に重要である。薄膜形成技術については、古くからいろいろな手法が開発され、LSI、ディスプレイ、...

2023/12/01 | 10:00～16:30

B231241:スパッタリング法の総合知識とトラブルシューティング

スパッタリング法は、半導体、電子部品、フラットパネルディスプレイ、機能性フィルム、工具や金型など、様々な分野で広く活用される薄膜形成技術です。しかし、スパッタリング法についての実務知識を学ぶ機会...

「物理気相成長（PVD）による成膜技術」 - YouTube

第7回　微細加工プロセス技術セミナー（2021年6月30日） 【チュートリアル】 講師：名古屋大学　加藤剛志 薄膜作製に主に用いられる気相成長法は，化学反応の有無により化学気相成長（CVD）と物...

セミナー「全固体リチウム電池の高性能化に向けた界面制御技術とその...

車載向け用途を中心に、リチウムイオン電池の市場は拡大を続けている。そのような中、現行のリチウムイオン電池よりさらに高エネルギー密度化できる全固体リチウム電池が次世代型蓄電池として期待され研究・開...

セミナー「FPD(Flat Panel Display)の基礎と将来展望【第7講の1】将来...

ディスプレイの専門家である、鵜飼育弘氏が、フラットパネルディスプレイ（FPD）について、基礎から将来展望までをわかりやすくご説明いたします。基礎編である第1講～第6講は、かつて鵜飼氏が大阪市立大...

セミナー「FPD(Flat Panel Display)の基礎と将来展望【第7講の2】将来...

ディスプレイの専門家である、鵜飼育弘氏が、フラットパネルディスプレイ（FPD）について、基礎から将来展望までをわかりやすくご説明いたします。基礎編である第1講～第6講は、かつて鵜飼氏が大阪市立大...

セミナー「FPD(Flat Panel Display)の基礎と将来展望【第4講】FPDの製...

ディスプレイの専門家である、鵜飼育弘氏が、フラットパネルディスプレイ（FPD）について、基礎から将来展望までをわかりやすくご説明いたします。基礎編である第1講～第6講は、かつて鵜飼氏が大阪市立大...

セミナー「FPD(Flat Panel Display)の基礎と将来展望【第5講】部材」...

ディスプレイの専門家である、鵜飼育弘氏が、フラットパネルディスプレイ（FPD）について、基礎から将来展望までをわかりやすくご説明いたします。基礎編である第1講～第6講は、かつて鵜飼氏が大阪市立大...

セミナー「FPD(Flat Panel Display)の基礎と将来展望【第6講】製造装...

ディスプレイの専門家である、鵜飼育弘氏が、フラットパネルディスプレイ（FPD）について、基礎から将来展望までをわかりやすくご説明いたします。基礎編である第1講～第6講は、かつて鵜飼氏が大阪市立大...

セミナー「FPD(Flat Panel Display)の基礎と将来展望【第2講】ディス...

ディスプレイの専門家である、鵜飼育弘氏が、フラットパネルディスプレイ（FPD）について、基礎から将来展望までをわかりやすくご説明いたします。基礎編である第1講～第6講は、かつて鵜飼氏が大阪市立大...

2022/11/17 | 13:30-16:30

「ゾル-ゲル法の実務活用のための速習セミナー」

「ゾル－ゲル法」は、ガラス、セラミックス、無機有機ハイブリッド、あるいはナノコンポジットを液相から合成する優れた方法です。本方法によれば、バルク体、メンブレイン、ファイバ、コーティング薄膜あるい...

2022/09/26 | 10:00-17:00

セミナー「ＡＬＤ（原子層堆積法）の基礎と高品質膜化および最新動向...

Atomic Layer Deposition（ALD、原子層堆積法）による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに...

2023/01/19 | 12:30-16:30

セミナー「＜教科書にない、実用的な＞スパッタリング薄膜の膜質制御...

スパッタリングによる機能性薄膜の機能を如何に引き出すかという観点から、教科書に記載されていない・あるいは説明が十分でないため誤解しやすい真空技術とスパッタリングのポイントをお話します。 焦...