2023/08/08 〜 2023/08/25
小型核融合発電のイノベーション技術と応用【アーカイブ配信】 | セミ...
本講演では、核融合エネルギーと高温プラズマの基礎から開発の現状、および実用炉に向けた技術課題を示し、世界で40社以上にも増えつつあるベンチャー企業の開発状況、各ベンチャー独自のイノベーション技術...
2023/11/22 | 12:30-16:30
真空技術の基礎と真空システムの構築方法【提携セミナー】 | アイアー...
本セミナーでは真空技術について基礎から実践まで幅広く説明します。真空そのものの基礎的な話に加え、真空装置に欠かせないプラズマの話、また、具体的な真空装置の構成や周辺のインフラ設備に関してまで幅広...
2023/12/04 | 12:30~16:30
プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門【LIVE配信】 | セミ...
プラズマは現在では産業の広い分野で日常的に使われています。しかし、プラズマの原理やプラズマを用いることの利点については、あまり系統的に学ぶ機会がないと思います。現在の応用だけでなく、今後道具とし...
2023/12/04 | 12:30~16:30
プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門
本セミナーでは、まず前半で薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられるプラズマ(非平衡プラズマと呼ばれる)の生成機構や特徴について解説します。後半ではそれらを踏まえて、プラズマCV...