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No.14967
今さら聞けない「薄膜形成技術」種類と選び方
高密度・低欠陥化を実現した新しいスパッタ薄膜も事例で紹介 半導体・電子デバイスの品質を左右する「薄膜」は、特性や材料に応じて最適な工法を選ぶ必要がありますが、「実は基礎から学んだ経験がない...