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ウェビナー
No.70680
2022/12/26 | 13:00~17:00
液膜の塗布・乾燥プロセスで生じる各種膜厚ムラの形成機構と抑制法【...
微細加工プロセスや各種フィルター・保護膜等の作製工程において、液膜の塗布・乾燥プロセスが欠かせないが、その過程で種々の膜厚ムラが発生する。これらの膜厚ムラは、作製する膜の用途によっては製品の寸法...