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ウェビナー No.19228

2022/04/26 | 10:30 - 16:30

スパッタリング薄膜の基礎と制御技術

スパッタリング法は,工業的に広く使われている薄膜作製法である.スパッタリング法の特徴として,基板温度を上げることなく,物性に優れた薄膜が得られるということが挙げられる.これは,スパッタリング法に...

ウェビナー No.11062

2022/04/28

「信頼性の基礎と寿命を見極めるための加速試験」の詳細情報

 近年、様々な製品で小型化・省エネ化を求められています。その製品に搭載される部品や部材まで微細加工や超薄型化されています。一方、微細加工や薄膜素材の積層などでパターン間や素材間の電界強度が大きく...

ウェビナー No.27581

2022/06/17 | 10:30 - 16:30

「塗布膜乾燥」セミナー:塗布膜乾燥、数理モデル、拡散方程式、拡散...

2022年6月17日:本講演では、塗布膜の乾燥工程の機構を解明するにあたり必要となる物理学的知識、考え方の講義から始めて、それらを基にした上記工程のモデル化の実際、およびその数値シミュレーション...

ウェビナー No.27908

2022/06/23 | 10:00 - 17:00

真空システムにおけるトラブル事例とその対策

真空システムで失敗・トラブルを起さない!現場を改善するノウハウ! 本講座では、真空システムの設計・製造・運転および保守を行う上で、何に気を付けるとトラブルと失敗を避け、 無駄なくそのシス...

ウェビナー No.21089

2022/08/30 | 10:30~16:30

レジスト・微細加工用材料への要求特性と最新技術動向

 メモリー、マイクロセッサ等の半導体の高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い益々大きくなっています。  本講演では、リソグラフィの基礎を理解していただき、デバイスの微細化を支え...

ウェビナー アーカイブ No.35426

2022/09/09 | 10:30-16:30

セミナー「エッチングの基礎と最新技術 ~ドライ/ウェットエッチング...

プラズマを用いたドライエッチングや薬液を用いたウェットエッチングは、三次元NAND型フラッシュメモリ等の半導体集積回路を開発、製造する際に必要不可欠な技術である。モノのインターネット(IoT)...

ウェビナー No.45067

2022/09/09 | 10:30-16:30

エッチングの基礎と最新技術

本セミナーでは、ドライエッチングおよびウェットエッチングについて、エッチング反応の原理から装置、微細加工技術のトレンド、シリコン系材料やIII-V族化合物半導体のエッチング技術,そして最先端の原...

ウェビナー No.48513

2022/09/29 | 10:30-16:30

セミナー「リソグラフィー/EUVリソグラフィー技術の基礎、最新技...

極端紫外線リソグラフィー(EUVL)技術は30年に開発期間を経て、7 nmおよび5 nm nodeの半導体デバイスの量産に適用されました。しかしながら、さらなる微細化に向けて多くの課題を抱えてい...

ウェビナー No.35252

2022/10/12 | 12:30-16:30

セミナー「バイオセンサ・バイオデバイスの基礎および開発事例と研究...

バイオセンサは,バイオ材料と検出装置から構成される.一部のバイオ材料は,標的分子に対して高い選択性と結合能を持つため,夾雑物の中から選択的に標的分子を捕捉することができる.バイオセンサの最も代表...

ウェビナー No.53387

2022/10/20 | 10:30~16:30

プラズマ生成の基礎・現象の理解と半導体微細加工・エッチングプロセ...

本講座はプラズマの性質やプラズマ中で起こっている基本的な現象(電離、解離、拡散、消滅)を解説するとともに、半導体微細加工において重要なパラメータとなる壁へのイオンや化学活性種のフラックス量がどの...

アーカイブ No.50785

2022/10/14 〜 2022/10/28

セミナー「バイオセンサ・バイオデバイスの基礎および開発事例と研究...

バイオセンサは,バイオ材料と検出装置から構成される.一部のバイオ材料は,標的分子に対して高い選択性と結合能を持つため,夾雑物の中から選択的に標的分子を捕捉することができる.バイオセンサの最も代表...

ウェビナー No.45290

2022/11/18 | 10:30 ~ 17:30

ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング(ALE)技術による高精...

~ 反応性イオンエッチング(RIE)の基礎、原子層堆積(ALD)の原理、特長、仕組み、ALEプロセスの概要と最新技術・動向、半導体プロセス分野のDX ~ ・原子レベルの精密なエッチング制御性と...

ウェビナー アーカイブ No.50784

2022/12/06 | 10:30-16:30

セミナー「レジスト・微細加工用材料の基礎とトラブル対策」の詳細情...

メモリー、マイクロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。リソグラフィは現在先端の量産で用いられているArF液浸、ダブル/マルチパターニ...

ウェビナー No.66084

2022/12/22 | 10:30 - 16:30

「半導体洗浄」:半導体、洗浄、流れの可視化、境界層、表面、枚葉式...

半導体製造工程における「清浄・きれい」の意味を見直し、洗浄プロセスの基礎となる現象を理解し、洗浄装置の水流・気泡の可視化画像を見て、工程と現象の要点が直感的に見えるようになることを目指します。そ...

ウェビナー No.45364

2022/12/22 | 10:30 ~ 17:30

信頼性加速試験データ・ワイブル解析の基礎と耐用寿命推定の実践ポイ...

~ 信頼性の基礎、ワイブル分布を用いた信頼性試験データ解析手法、累積ハザード型ワイブル分布を用いた市場故障データ解析手法、耐用寿命の推定法 ~ ・トラブル撲滅の観点から市場故障数や耐用寿命の予...

ウェビナー アーカイブ No.64079

2022/12/06 〜 2022/12/23 | 12/6 10:30~16:30

レジスト・微細加工用材料の基礎とトラブル対策【LIVE配信】 | セミナ...

本講演では、リソグラフィの基礎を解説した後、デバイスの微細化を支えるレジストの基礎を述べ、レジスト・微細加工用材料のトラブル対策をその要求特性、課題をふまえて解説する。最後に本年の3nmロジック...

アーカイブ No.50783

2022/12/12 〜 2022/12/23

セミナー「レジスト・微細加工用材料の基礎とトラブル対策【アーカイ...

メモリー、マイクロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。リソグラフィは現在先端の量産で用いられているArF液浸、ダブル/マルチパターニ...

ウェビナー No.70680

2022/12/26 | 13:00~17:00

液膜の塗布・乾燥プロセスで生じる各種膜厚ムラの形成機構と抑制法【...

微細加工プロセスや各種フィルター・保護膜等の作製工程において、液膜の塗布・乾燥プロセスが欠かせないが、その過程で種々の膜厚ムラが発生する。これらの膜厚ムラは、作製する膜の用途によっては製品の寸法...

ウェビナー No.72947

2023/01/24 | 10:30-17:25

セミナー「ナノインプリントリソグラフィによる微細加工技術・プロセ...

★ナノインプリントによる微細成型に関するメカニズムの基礎、使用される樹脂やモールドについての知識やプロセス・材料の最適設計、欠陥対策等を解説! ★上記に加え、三次元構造の作成技術等様々な可能性...

ウェビナー No.61984

2023/01/27 | 10:30-16:30

セミナー「半導体(ドライ/ウェット)エッチングの基礎とプロセス制...

半導体集積回路の開発や製造において、エッチングは必要不可欠な技術である。モノのインターネット(IoT)の普及により、データ処理を担う半導体集積回路の高密度集積化が益々進んでいる。加工寸法の微細化...