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No.45067
2022/09/09 | 10:30-16:30
エッチングの基礎と最新技術
本セミナーでは、ドライエッチングおよびウェットエッチングについて、エッチング反応の原理から装置、微細加工技術のトレンド、シリコン系材料やIII-V族化合物半導体のエッチング技術,そして最先端の原...
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No.53387
2022/10/20 | 10:30~16:30
プラズマ生成の基礎・現象の理解と半導体微細加工・エッチングプロセ...
本講座はプラズマの性質やプラズマ中で起こっている基本的な現象(電離、解離、拡散、消滅)を解説するとともに、半導体微細加工において重要なパラメータとなる壁へのイオンや化学活性種のフラックス量がどの...
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No.70680
2022/12/26 | 13:00~17:00
液膜の塗布・乾燥プロセスで生じる各種膜厚ムラの形成機構と抑制法【...
微細加工プロセスや各種フィルター・保護膜等の作製工程において、液膜の塗布・乾燥プロセスが欠かせないが、その過程で種々の膜厚ムラが発生する。これらの膜厚ムラは、作製する膜の用途によっては製品の寸法...