2022/09/22 | 10:30~16:15
レジスト材料の高感度、高解像度化と欠陥対策
リソグラフィの最新動向とレジスト材料への要求特性、EUVリソグラフィ用フォトレジストの開発動向と高感度、高解像度化、レジスト材料の付着性解析と欠陥、トラブル対策について講演する。
リソグラフィーや3Dプリンタ発展の決め手は「高出力紫外線LED」
LEDの面積を変えずに小型化・高出力に寄与、LuminusDevicesのUV-A LEDをご紹介 硬化装置、マスクレスリソグラフィー、3Dプリンティングなどの次世代アプリケーションは、...
2024/02/06 | 10:00-16:30
2024年2月6日開講。WEBセミナー。「EUVリソグラフィ技術と半導体微細...
2024年2月6日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の九州大学 溝口 計 氏、東京工業大学 鈴木 一明 氏、富士フイルム株式会社 藤森 亨 氏、東京エレクト...
2024/01/24 | 10:30~16:15
EUVリソグラフィ技術、メタルレジスト材料の開発と課題【提携セミナー...
本講座では、フォトレジスト開発従事者による材料面からみたリソグラフィの歴史の理解。先端EUVレジストの課題とその解決検討状況の理解。国家プロジェクトの必要性と活用法の理解。などが習得できる知識です。