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ウェビナー No.148203

2024/01/23 | 13:00-17:30

2024年1月23日開講。WEBセミナー。「EUVリソグラフィおよびレジスト開...

2024年1月23日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の 兵庫県立大学 渡邊 健夫 氏、鴨志田技術事務所 鴨志田 洋一 氏、富士フイルム株式会社 藤森 亨 ...

ウェビナー No.153141

2024/07/31 | 13:00-17:45

EUVリソグラフィにおける最新微細化動向とフォトマスクを中心とした課...

★EUVリソグラフィにおける最新動向とフォトマスクでの課題解決とは? ★beyond EUVLのカギを握る、フォトマスク、レクチル技術。その周辺技術である、欠陥検査技術、ペリクル、ブランク...

ウェビナー No.48561

2022/09/22 | 10:30~16:15

レジスト材料の高感度、高解像度化と欠陥対策

リソグラフィの最新動向とレジスト材料への要求特性、EUVリソグラフィ用フォトレジストの開発動向と高感度、高解像度化、レジスト材料の付着性解析と欠陥、トラブル対策について講演する。

ウェビナー No.98444

2023/04/27 | 13:00-17:05

ダイヤモンド半導体の特徴とウェハ・デバイスの作製技術および開発事...

★ダイヤモンド半導体は、Si, SiC, GaNより、さらにワイドギャップの半導体で、次世代の高出力・高効率パワー半導体デバイスとして期待されています。本講演では、ダイヤモンド半導体の基礎から、...

ウェビナー No.109726

2023/07/25 | 13:00-16:00

セミナー「EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術」の詳細情報 - ...

情報システム社会の発展は目覚ましく、パーソナルコンピュータは今や一人一台を所有する。最近では、スマートフォンが手のひらコンピューティングを可能にするなど、私たちの生活を劇的に変えている。また 、...

ウェビナー No.110938

2023/05/25 | 13:00~17:05

2023年5月25日開講。WEBセミナー。「EUV リソグラフィおよびレジスト...

★第1講では、EUVL技術開発の第一人者が、黎明期のEUVL、技術開発の現状、今後の展望と併せて、EUV光のさらなる短波長であるbeyond EUVLの可能性を紹介! ★上記と併せ、日本の半導...

ウェビナー No.113826

2023/07/07 | 13:00 - 16:30

レジスト材料・プロセス

「レジストプロセスの最適化と特性評価法」・本セミナーでは、レジスト材料開発・処理装置技術者及びユーザー、リソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、半導体をはじめとしたレジスト材料プロセス技...

ウェビナー No.122691

2023/10/16 | 10:30-16:30

セミナー「リソグラフィ技術・レジスト材料の基礎と微細化・高解像度...

今日の情報化社会は、マイクロエレクトロニクス(ME)の発展に支えられている。MEは、1950年代に集積回路(IC)が開発されて以来、大規模集積回路(LSI)のパターンの微細化、高集積化、すなわち...

ウェビナー No.132682

2023/08/31 | 13:00-17:00

セミナー「半導体フォトレジスト・材料の基礎と応用展開・トラブル対...

半導体・ディスプレイ・電子素子・5感センサー等の高機能化にリソグラフィ加工は非常に有用である。 この加工技術において使用されるフォトレジストは、リソグラフィ技術のキーとなる電子材料である。 ...

ウェビナー No.133120

2023/09/14 | 9:55-16:00

セミナー「最先端リソグラフィ/レジスト材料の開発動向」の詳細情報...

EUVリソグラフィと光源の開発動向、およびレジスト・微細加工材料の開発動向について詳細に解説して頂くことによって、関連業界の方々の今後の事業に役立てていただくことを目的とします。

アーカイブ 視聴無料 No.137817

リソグラフィーや3Dプリンタ発展の決め手は「高出力紫外線LED」

LEDの面積を変えずに小型化・高出力に寄与、LuminusDevicesのUV-A LEDをご紹介​ 硬化装置、マスクレスリソグラフィー、3Dプリンティングなどの次世代アプリケーションは、...

ウェビナー No.148099

2024/02/06 | 10:00-16:30

2024年2月6日開講。WEBセミナー。「EUVリソグラフィ技術と半導体微細...

2024年2月6日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の九州大学 溝口 計 氏、東京工業大学 鈴木 一明 氏、富士フイルム株式会社 藤森 亨 氏、東京エレクト...

ウェビナー No.151261

2024/01/24 | 10:30~16:15

EUVリソグラフィ技術、メタルレジスト材料の開発と課題【提携セミナー...

本講座では、フォトレジスト開発従事者による材料面からみたリソグラフィの歴史の理解。先端EUVレジストの課題とその解決検討状況の理解。国家プロジェクトの必要性と活用法の理解。などが習得できる知識です。

ウェビナー No.123375

2023/09/12 | 10:30-16:30

セミナー「半導体用レジストの特性および材料設計とその評価【LIVE配...

半導体、LCD等の電子デバイス製造では、成膜、パターン作製 (レジスト塗布、露光、現像) 、エッチング、レジスト剥離、洗浄等のプロセスを複数回繰り返すことにより、基板上に微細素子がパターンニング...

ウェビナー No.17357

2022/06/27 | 13:00~17:00

メタマテリアルの基礎とメタサーフェスの設計・製作および光制御と応...

 自然界にない光学特性を示す人工物質であるメタマテリアルは,製作の困難さから光の波長における製作例は少ない.一方リソグラフィ技術の進展によって,平面的な構造を容易に製作することが可能となった.金...

アーカイブ No.47831

セミナー「メタマテリアルの基礎とメタサーフェスの設計・製作および...

自然界にない光学特性を示す人工物質であるメタマテリアルは、製作の困難さから光の波長における製作例は少ない。一方リソグラフィ技術の進展によって、平面的な構造を容易に製作することが可能となった。金...

ウェビナー アーカイブ No.142178

2023/11/20 | 13:00-17:00

セミナー「メタマテリアルの基礎とメタサーフェスの設計・製作および...

自然界にない光学特性を示す人工物質であるメタマテリアルは,製作の困難さから光の波長における製作例は少ない.一方リソグラフィ技術の進展によって,平面的な構造を容易に製作することが可能となった.金属...

アーカイブ 視聴無料 No.6088

「電子ビーム露光とマスクレス露光の連携によるリソグラフィ」 - You...

第5回 微細加工プロセス技術セミナー(2021年1月13日) 【プラットフォーム技術紹介】 講師:東京工業大学 宮本恭幸 ポイントビームによる電子ビーム露光は微細構造形成には有力なツールですが、...

アーカイブ No.11327

セミナー「半導体入門講座【2】 ~半導体デバイスの作り方~ウエハ工...

半導体デバイス製造のウエハ工程について、その全体像を初心者・入門者でも理解できるようになるセミナー!実際の工場での工程の流れ、基本的な形づくりの考え方、形づくりにかかわる工程とそれ以外の工程につ...

ウェビナー No.21089

2022/08/30 | 10:30~16:30

レジスト・微細加工用材料への要求特性と最新技術動向

 メモリー、マイクロセッサ等の半導体の高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い益々大きくなっています。  本講演では、リソグラフィの基礎を理解していただき、デバイスの微細化を支え...