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No.142780
2023/11/30 | 13:00~16:30
レジストの技術・材料・プロセス・装置の総合知識【提携セミナー】 |...
レジスト材料開発、およびレジスト処理装置関連の技術者、レジストユーザー、リソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、フォトレジスト材料の特性、プロセスの最適化、付着・濡れ・欠陥といった各種ト...
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No.151261
2024/01/24 | 10:30~16:15
EUVリソグラフィ技術、メタルレジスト材料の開発と課題【提携セミナー...
本講座では、フォトレジスト開発従事者による材料面からみたリソグラフィの歴史の理解。先端EUVレジストの課題とその解決検討状況の理解。国家プロジェクトの必要性と活用法の理解。などが習得できる知識です。