2023/07/25 | 10:00～16:30
スパッタ・真空蒸着と膜質改善技術の徹底解説【LIVE配信】 | セミナー...
本講演では、スパッタや真空蒸着によって薄膜を作成しようとする場合に頻繁に問題となる膜質制御や剥離対策にテーマに絞り、１）一つの技術課題とその解決のキーポイントの例示→２）その技術内容に関わる最低...
2023/07/25 | 10:00-16:00
セミナー「スパッタ・真空蒸着と膜質改善技術の徹底解説」の詳細情報...
本講演では、スパッタや真空蒸着によって薄膜を作成しようとする場合に頻繁に問題となる膜質制御や剥離対策にテーマに絞り、１）一つの技術課題とその解決のキーポイントの例示→２）その技術内容に関わる最低...
2023/07/26 | 10:30-17:00
セミナー「酸化ガリウム(Ga2O3)の結晶成長・薄膜形成とデバイス応用」...
α相 β相 κ相 γ相 δ相 5つの結晶多形における研究開発動向を紹介 ミスト流を利用した機能膜作製手法「ミストCVD」の概要と技術動向についても解説 本セミナーでは、新しいパワーデバイ...
2023/08/07 | 13:00～17:00
酸化ガリウムパワーデバイスの最新技術・研究開発動向と今後の展開【...
■趣旨： 酸化ガリウム (Ga2O3) は、次世代パワーデバイス用途の新半導体材料として期待されるに足る、 優れた材料物性を有する。また、原理的に大口径かつ高品質な単結晶基板を、融液成長法...
2023/08/07 | 13:00～17:00
酸化ガリウムパワーデバイスの最新技術・研究開発動向と今後の展開【...
本講演では、Ga2O3パワーデバイスの位置づけ・魅力、現在までのバルク・基板、エピタキシャル薄膜成長、デバイス（トランジスタ、ショットキーバリアダイオード）の研究開発状況、今後に向けた課題および...
2023/08/08 | 10:30-16:30
セミナー「薄膜作製の基礎とトラブル対策 ～スパッタ、真空蒸着、CVD...
スパッタ法や真空蒸着法、化学気相成長（CVD）法は、先端材料研究をはじめ、電子デバイス，太陽電池，建材、さらには食品産業まで、さまざまな分野で使用されており、今や我々の生活と切っても切り離せない...
2023/08/22 | 10:30-16:30
セミナー「ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向」の...
Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成な...