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No.114295
2023/06/09 | 10:30~16:10
CMPプロセスの設計と高精度、安定化技術
本講演ではCMP技術を中心に、パワー半導体やシリコン半導体の技術動向について解説する。 パワー半導体では基板形成プロセスおける研削やCMP技術の役割について解説する。 ここではサファイア基板...