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ウェビナー No.126939

2023/08/31 | 13:00~17:00

半導体ウェットエッチングの基礎およびプロセス技術と先端課題【LIVE...

半導体製造は、成膜、リソグラフィー、エッチングの繰り返しによって半導体ウェハ上に素子を 作り込むものであり、エッチングは必要不可欠である。エッチングには、プラズマを用いたドライ エッチングと...

ウェビナー No.132684

2023/08/31 | 10:30-16:30

セミナー「ぬれ性のメカニズムと制御・測定技術」の詳細情報 - ものづ...

液体と固体表面が関与するぬれ現象の把握と制御は、塗料・顔料製造、各種工業操作における塗装・塗布・乾燥工程などに必要不可欠なのはいうまでもない。これ以外にも、半導体製造プロセス(基板汚染度の測定や...

ウェビナー アーカイブ No.138459

2023/09/07 | 10:30~16:30

A230907: レジスト・微細加工用材料への要求特性と最新技術動向

メモリー、マイクロプロセッサ等の半導体の高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い益々大きくなっています。  本講演では、リソグラフィの基礎、最新のロードマップを述べた後、デバイス...

ウェビナー アーカイブ No.122273

2023/09/07 | 10:30-16:30

セミナー「レジスト・微細加工用材料への要求特性と最新技術動向」の...

メモリー、マイクロプロセッサ等の半導体の高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い益々大きくなっています。  本講演では、リソグラフィの基礎、最新のロードマップを述べた後、デバイス...

ウェビナー No.123375

2023/09/12 | 10:30-16:30

セミナー「半導体用レジストの特性および材料設計とその評価【LIVE配...

半導体、LCD等の電子デバイス製造では、成膜、パターン作製 (レジスト塗布、露光、現像) 、エッチング、レジスト剥離、洗浄等のプロセスを複数回繰り返すことにより、基板上に微細素子がパターンニング...

ウェビナー No.131449

2023/09/13 | 10:30 - 16:30

フォトレジスト材料の基礎と開発・設計指針 ~合成・評価法からEUV用...

■はじめに 2019年、30年にもおよんだ長い検討期間を経て、ついにEUVリソグラフィが量産適用された。しかしながら、適用された各技術は、まだ序章に過ぎず多くの課題を抱えている。言い換えると、...

ウェビナー No.133120

2023/09/14 | 9:55-16:00

セミナー「最先端リソグラフィ/レジスト材料の開発動向」の詳細情報...

EUVリソグラフィと光源の開発動向、およびレジスト・微細加工材料の開発動向について詳細に解説して頂くことによって、関連業界の方々の今後の事業に役立てていただくことを目的とします。

ウェビナー No.138216

2023/09/25 | 12:30 - 16:30

「EUVリソグラフィー 光源」 セミナー│次世代半導体リソグラフィー...

EUV光源技術の研究開発・高効率化〜次世代半導体リソグラフィーに向けて〜。EUVリソグラフィーの露光・光源技術を解説! 半導体は「産業のコメ」から「産業のブレイン」へ。高性能化・省エネ化を急ぐ ...

ウェビナー No.140310

2023/10/16 | 10:30~16:30

リソグラフィ技術・レジスト材料の基礎と微細化・高解像度に向けた応...

ここでは、これまでの技術・材料開発の事例をまとめ、今後の効率的な技術開発・不良防止・トラブル対策への応用への指針とする。  さらに、科学技術の進歩の負の側面として顕在化してきている地球規模の課...

ウェビナー No.122691

2023/10/16 | 10:30-16:30

セミナー「リソグラフィ技術・レジスト材料の基礎と微細化・高解像度...

今日の情報化社会は、マイクロエレクトロニクス(ME)の発展に支えられている。MEは、1950年代に集積回路(IC)が開発されて以来、大規模集積回路(LSI)のパターンの微細化、高集積化、すなわち...

ウェビナー アーカイブ No.139890

2023/10/20 | 10:30-16:30

セミナー「ナノインプリントの基礎から材料・プロセス・装置技術およ...

ナノインプリント技術は提唱されて20年余が経過し、これまでの研究成果の産業化が急速に進められている。従来技術と比較して安価で効率的にナノ構造を作製できるナノインプリント技術は、ナノテクノロジーを...

ウェビナー No.138982

2023/10/20 | 10:30~16:30

B231040:ナノインプリントの基礎から材料・プロセス・装置技術および...

ナノインプリント技術は提唱されて20年余が経過し、これまでの研究成果の産業化が急速に進められている。従来技術と比較して安価で効率的にナノ構造を作製できるナノインプリント技術は、ナノテクノロジーを...

ウェビナー No.131872

2023/10/23 | 13:30-16:30

セミナー「メタマテリアル・メタサーフェスの基礎と応用」の詳細情報...

自然界にない光学特性を示す人工物質であるメタマテリアルは、製作の困難さから光の波長における製作例は少ない。一方リソグラフィ技術の進展によって、平面的な金属構造を容易に製作することが可能となった。...

ウェビナー アーカイブ No.142178

2023/11/20 | 13:00-17:00

セミナー「メタマテリアルの基礎とメタサーフェスの設計・製作および...

自然界にない光学特性を示す人工物質であるメタマテリアルは,製作の困難さから光の波長における製作例は少ない.一方リソグラフィ技術の進展によって,平面的な構造を容易に製作することが可能となった.金属...

ウェビナー アーカイブ No.139541

2023/11/20 | 13:00~17:00

A231120: メタマテリアルの基礎と メタサーフェスの設計・製作および...

自然界にない光学特性を示す人工物質であるメタマテリアルは,製作の困難さから光の波長における製作例は少ない.一方リソグラフィ技術の進展によって,平面的な構造を容易に製作することが可能となった.金属...

ウェビナー アーカイブ No.142337

2023/11/21 | 13:00~16:30

B231171:フッ素コーティングによる防湿・絶縁・耐酸・撥水・撥油・離...

透明で常温乾燥が可能なフッ素コーティング剤の基本原理、構造、評価、使用方法について説明いたします。また、現在盛んに行われているプリント配線板の防湿コーティング、LEDの硫化防止やリチウム電池の発...

ウェビナー No.142780

2023/11/30 | 13:00~16:30

レジストの技術・材料・プロセス・装置の総合知識【提携セミナー】 |...

レジスト材料開発、およびレジスト処理装置関連の技術者、レジストユーザー、リソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、フォトレジスト材料の特性、プロセスの最適化、付着・濡れ・欠陥といった各種ト...

ウェビナー No.139727

2023/11/30 | 13:00-16:30

セミナー「レジストの技術・材料・プロセス・装置の総合知識」の詳細...

現在、レジスト材料は、半導体、ディスプレイ、プリント基板、太陽電池、MEMS等の多くの電子産業分野において、世界市場で実用化されています。その市場規模は、年間1500億円におよび年々拡大していま...

ウェビナー No.143754

2023/12/08 | 10:30-16:30

リソグラフィー技術の基礎とフォトレジストの評価方法《研究開発、製...

本講座では、バーチャル・リソグラフィ評価方法の解説を中心に、リソグラフィーの基礎から、最新のフォトレジスト材料の評価方法について述べたいと思います。

ウェビナー No.145984

2024/01/12 | 10:30〜16:30

半導体製造プロセス技術の基礎とトラブル対策 ~前工程、後工程、信...

半導体プロセスのキーとなる基本技術,プロセスフロー全体を通したバランス的知識について,分かりやすく解説します。 エッチングやリソグラフィなどの各プロセス技術単位でのセミナーではなく,プロセス全...