2023/05/25 | 13:00~17:05

2023年5月25日開講。WEBセミナー。「EUV リソグラフィおよびレジスト...

★第1講では、EUVL技術開発の第一人者が、黎明期のEUVL、技術開発の現状、今後の展望と併せて、EUV光のさらなる短波長であるbeyond EUVLの可能性を紹介！ ★上記と併せ、日本の半導...

2023/07/07 | 13:00 - 16:30

レジスト材料・プロセス

「レジストプロセスの最適化と特性評価法」・本セミナーでは、レジスト材料開発・処理装置技術者及びユーザー、リソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、半導体をはじめとしたレジスト材料プロセス技...

2023/10/16 | 10:30-16:30

セミナー「リソグラフィ技術・レジスト材料の基礎と微細化・高解像度...

今日の情報化社会は、マイクロエレクトロニクス(ME)の発展に支えられている。MEは、1950年代に集積回路(IC)が開発されて以来、大規模集積回路(LSI)のパターンの微細化、高集積化、すなわち...

2023/08/31 | 13:00-17:00

セミナー「半導体フォトレジスト・材料の基礎と応用展開・トラブル対...

半導体・ディスプレイ・電子素子・5感センサー等の高機能化にリソグラフィ加工は非常に有用である。 この加工技術において使用されるフォトレジストは、リソグラフィ技術のキーとなる電子材料である。 ...

2023/09/14 | 9:55-16:00

セミナー「最先端リソグラフィ／レジスト材料の開発動向」の詳細情報...

EUVリソグラフィと光源の開発動向、およびレジスト・微細加工材料の開発動向について詳細に解説して頂くことによって、関連業界の方々の今後の事業に役立てていただくことを目的とします。

リソグラフィーや3Dプリンタ発展の決め手は「高出力紫外線LED」

LEDの面積を変えずに小型化・高出力に寄与、LuminusDevicesのUV-A LEDをご紹介​ 硬化装置、マスクレスリソグラフィー、3Dプリンティングなどの次世代アプリケーションは、...

2024/02/06 | 10:00-16:30

2024年2月6日開講。WEBセミナー。「EUVリソグラフィ技術と半導体微細...

2024年2月6日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の九州大学　溝口　計　氏、東京工業大学　鈴木　一明　氏、富士フイルム株式会社　藤森　亨　氏、東京エレクト...

2024/01/24 | 10:30~16:15

EUVリソグラフィ技術、メタルレジスト材料の開発と課題【提携セミナー...

本講座では、フォトレジスト開発従事者による材料面からみたリソグラフィの歴史の理解。先端EUVレジストの課題とその解決検討状況の理解。国家プロジェクトの必要性と活用法の理解。などが習得できる知識です。

2023/09/12 | 10:30-16:30

セミナー「半導体用レジストの特性および材料設計とその評価【LIVE配...

半導体、LCD等の電子デバイス製造では、成膜、パターン作製 (レジスト塗布、露光、現像) 、エッチング、レジスト剥離、洗浄等のプロセスを複数回繰り返すことにより、基板上に微細素子がパターンニング...

セミナー「メタマテリアルの基礎とメタサーフェスの設計・製作および...

自然界にない光学特性を示す人工物質であるメタマテリアルは、製作の困難さから光の波長における製作例は少ない。一方リソグラフィ技術の進展によって、平面的な構造を容易に製作することが可能となった。金...

2023/11/20 | 13:00-17:00

セミナー「メタマテリアルの基礎とメタサーフェスの設計・製作および...

自然界にない光学特性を示す人工物質であるメタマテリアルは，製作の困難さから光の波長における製作例は少ない．一方リソグラフィ技術の進展によって，平面的な構造を容易に製作することが可能となった．金属...

「電子ビーム露光とマスクレス露光の連携によるリソグラフィ」 - You...

第５回 微細加工プロセス技術セミナー（2021年1月13日） 【プラットフォーム技術紹介】 講師：東京工業大学　宮本恭幸 ポイントビームによる電子ビーム露光は微細構造形成には有力なツールですが、...

セミナー「半導体入門講座【2】 ～半導体デバイスの作り方～ウエハ工...

半導体デバイス製造のウエハ工程について、その全体像を初心者・入門者でも理解できるようになるセミナー！実際の工場での工程の流れ、基本的な形づくりの考え方、形づくりにかかわる工程とそれ以外の工程につ...

2022/09/26 | 10:30～16:30

リソグラフィ技術・レジスト材料の基礎と微細化・高解像度に向けた応...

本セミナーは、これまでの技術・材料開発の事例をまとめ、今後の効率的な技術開発・不良防止・トラブル対策への応用への指針とする。

2022/12/06 〜 2022/12/23 | 12/6　10:30～16:30

レジスト・微細加工用材料の基礎とトラブル対策【LIVE配信】 | セミナ...

本講演では、リソグラフィの基礎を解説した後、デバイスの微細化を支えるレジストの基礎を述べ、レジスト・微細加工用材料のトラブル対策をその要求特性、課題をふまえて解説する。最後に本年の3nmロジック...

2023/01/24 | 10:30-17:25

セミナー「ナノインプリントリソグラフィによる微細加工技術・プロセ...

★ナノインプリントによる微細成型に関するメカニズムの基礎、使用される樹脂やモールドについての知識やプロセス・材料の最適設計、欠陥対策等を解説！ ★上記に加え、三次元構造の作成技術等様々な可能性...

2023/01/23 | 13:00-16:30

セミナー「常温型フッ素系コーティング剤の種類、基本構造、特徴、 展...

透明で常温乾燥が可能なフッ素コーティング剤の基本原理、構造、評価、使用方法について説明いたします。また、現在盛んに行われているプリント配線板の防湿コーティング、ＬＥＤの硫化防止やリチウム電池の発...

2023/04/18 | 10:30-16:30

セミナー「半導体用レジストの材料設計とレジスト除去技術」の詳細情...

半導体、LCD等の電子デバイス製造では、成膜、パターン作製 (レジスト塗布、露光、現像) 、エッチング、レジスト剥離、洗浄等のプロセスを複数回繰り返すことにより、基板上に微細素子がパターンニング...

2023/06/02 | 10:30 ~ 17:30

光回折・偏光の基礎と光デバイス開発への応用技術　＜オンラインセミ...

～ 回折理論・偏光理論と数値計算法、幾何学的位相と新規光学素子開発への応用技術 ～ ・回折や偏光などの光技術の基礎から光学素子開発の工程までを修得し、光学システムの開発に応用するための講座 ...

2023/05/16 | 10:00～16:00

ぬれ性のメカニズムと制御・測定技術【LIVE配信】

　液体と固体表面が関与するぬれ現象の把握と制御は、塗料・顔料製造、各種工業操作における 塗装・塗布・乾燥工程などに必要不可欠なのはいうまでもない。これ以外にも、半導体製造プロ セス（基板汚染...