2023/06/09 | １０：３０～１６：３０

リソグラフィ技術の開発動向と レジスト材料への要求特性、トラブル対...

本講演では、最新のロードマップを紹介し、EUVを中心としたリソグラフィの最先端技術、開発動向、レジスト材料への要求特性について解説する。量産工程で実際に起こるレジスト材料のトラブルについて、その...

2023/09/13 | 10:30 - 16:30

フォトレジスト材料の基礎と開発・設計指針 ～合成・評価法からEUV用...

■はじめに 2019年、30年にもおよんだ長い検討期間を経て、ついにEUVリソグラフィが量産適用された。しかしながら、適用された各技術は、まだ序章に過ぎず多くの課題を抱えている。言い換えると、...

2023/06/21 | 10:30～16:30

レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策【LIVE配信】 | セミナ...

習得できる知識 ・レジストを製造するための基礎知識、設計概念と具体的方法 ・レジストの品質管理手法 ・レジストを使用する際の留意事項、トラブル対応能力 ・リソグラフィープロセスの最適化方...

2023/12/08 | 10:30-16:30

リソグラフィー技術の基礎とフォトレジストの評価方法《研究開発、製...

本講座では、バーチャル・リソグラフィ評価方法の解説を中心に、リソグラフィーの基礎から、最新のフォトレジスト材料の評価方法について述べたいと思います。

2024/01/23 | 13:00-17:30

2024年1月23日開講。WEBセミナー。「EUVリソグラフィおよびレジスト開...

2024年1月23日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の 兵庫県立大学　渡邊　健夫　氏、鴨志田技術事務所　鴨志田　洋一　氏、富士フイルム株式会社　藤森　亨　...

2022/04/25

セミナー「メタマテリアル・メタサーフェスの基礎と応用展開」

メタマテリアル・メタサーフェスの原理・特徴、作製方法と応用について解説します！  自然界にない光学特性を示す人工物質であるメタマテリアルは、製作の困難さから光の波長における製作例は少ない。一方...

2022/09/22 | 10:30~16:15

レジスト材料の高感度、高解像度化と欠陥対策

リソグラフィの最新動向とレジスト材料への要求特性、EUVリソグラフィ用フォトレジストの開発動向と高感度、高解像度化、レジスト材料の付着性解析と欠陥、トラブル対策について講演する。

2023/04/27 | 13:00-17:05

ダイヤモンド半導体の特徴とウェハ・デバイスの作製技術および開発事...

★ダイヤモンド半導体は、Si, SiC, GaNより、さらにワイドギャップの半導体で、次世代の高出力・高効率パワー半導体デバイスとして期待されています。本講演では、ダイヤモンド半導体の基礎から、...

2023/07/25 | 13:00-16:00

セミナー「EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術」の詳細情報 - ...

情報システム社会の発展は目覚ましく、パーソナルコンピュータは今や一人一台を所有する。最近では、スマートフォンが手のひらコンピューティングを可能にするなど、私たちの生活を劇的に変えている。また 、...

2023/05/25 | 13:00~17:05

2023年5月25日開講。WEBセミナー。「EUV リソグラフィおよびレジスト...

★第1講では、EUVL技術開発の第一人者が、黎明期のEUVL、技術開発の現状、今後の展望と併せて、EUV光のさらなる短波長であるbeyond EUVLの可能性を紹介！ ★上記と併せ、日本の半導...

2023/07/07 | 13:00 - 16:30

レジスト材料・プロセス

「レジストプロセスの最適化と特性評価法」・本セミナーでは、レジスト材料開発・処理装置技術者及びユーザー、リソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、半導体をはじめとしたレジスト材料プロセス技...

2023/10/16 | 10:30-16:30

セミナー「リソグラフィ技術・レジスト材料の基礎と微細化・高解像度...

今日の情報化社会は、マイクロエレクトロニクス(ME)の発展に支えられている。MEは、1950年代に集積回路(IC)が開発されて以来、大規模集積回路(LSI)のパターンの微細化、高集積化、すなわち...

2023/08/31 | 13:00-17:00

セミナー「半導体フォトレジスト・材料の基礎と応用展開・トラブル対...

半導体・ディスプレイ・電子素子・5感センサー等の高機能化にリソグラフィ加工は非常に有用である。 この加工技術において使用されるフォトレジストは、リソグラフィ技術のキーとなる電子材料である。 ...

2023/09/14 | 9:55-16:00

セミナー「最先端リソグラフィ／レジスト材料の開発動向」の詳細情報...

EUVリソグラフィと光源の開発動向、およびレジスト・微細加工材料の開発動向について詳細に解説して頂くことによって、関連業界の方々の今後の事業に役立てていただくことを目的とします。

リソグラフィーや3Dプリンタ発展の決め手は「高出力紫外線LED」

LEDの面積を変えずに小型化・高出力に寄与、LuminusDevicesのUV-A LEDをご紹介​ 硬化装置、マスクレスリソグラフィー、3Dプリンティングなどの次世代アプリケーションは、...

2024/02/06 | 10:00-16:30

2024年2月6日開講。WEBセミナー。「EUVリソグラフィ技術と半導体微細...

2024年2月6日開講。WEBでオンラインLive講義にどこからでも参加できます。第一人者の九州大学　溝口　計　氏、東京工業大学　鈴木　一明　氏、富士フイルム株式会社　藤森　亨　氏、東京エレクト...

2024/01/24 | 10:30~16:15

EUVリソグラフィ技術、メタルレジスト材料の開発と課題【提携セミナー...

本講座では、フォトレジスト開発従事者による材料面からみたリソグラフィの歴史の理解。先端EUVレジストの課題とその解決検討状況の理解。国家プロジェクトの必要性と活用法の理解。などが習得できる知識です。

2023/09/12 | 10:30-16:30

セミナー「半導体用レジストの特性および材料設計とその評価【LIVE配...

半導体、LCD等の電子デバイス製造では、成膜、パターン作製 (レジスト塗布、露光、現像) 、エッチング、レジスト剥離、洗浄等のプロセスを複数回繰り返すことにより、基板上に微細素子がパターンニング...

2022/03/16

偽造防止やトレーサビリティの確認に役立つ｢見えないQRコード｣の概...

「見えない情報」による様々なメリットや技術について，基礎から学ぶオンラインセミナーです。「見えないQRコード」を中心に，見えない情報の実用例，研究例について，印刷技術，画像処理，色彩工学などの基...

2022/06/27 | 13:00～17:00

メタマテリアルの基礎とメタサーフェスの設計・製作および光制御と応...

　自然界にない光学特性を示す人工物質であるメタマテリアルは，製作の困難さから光の波長における製作例は少ない．一方リソグラフィ技術の進展によって，平面的な構造を容易に製作することが可能となった．金...