2024/01/31 | 10:30～17:00

大気圧プラズマの基礎と最新応用技術【提携セミナー】 | アイアール技...

大気圧プラズマの基礎と新しい装置開発および各種応用の現状、大気圧プラズマの環境浄化および表面処理への応用について解説します。

MP-AES編 第２回 MP-AESのデモビデオ　視聴前アンケート | アジレント...

マイクロ波プラズマ原子発光分光分析装置のデモ アセチレンなどの可燃性ガスを使わず低いランニングコストでppbレベルまでの検出下限を実現するマイクロ波プラズマ原子発光分光分析装置のデモをご紹介します。

2023/05/30 | 13:00-16:30

セミナー「プラズマＣＶＤ（化学気相堆積）装置による高品質薄膜の成...

当社は、1989年から「研究開発用半導体一貫製造システム」の開発を開始して、装置メーカーとして、30年以上の実績・経験があります。この講演では、プラズマCVD装置に関して、開発してきた技術や課...

2023/05/31 | 13:00-16:30

セミナー「スパッタリングの基礎と薄膜の品質向上・不具合対策」の詳...

スパッタリング法は半導体からディスプレイデバイス、電子デバイスまで広く工業的に普及している技術である。薄膜形成方法の中でも、ソース材料（ターゲット）が固体であり、有毒ガスを使用しないため、除害装...

2024/03/28 | 10:30～16:30

大気圧プラズマの基礎と応用展開【LIVE配信】 | セミナーのことならR...

☆材料の表面改質、殺菌処理から半導体プロセス、医療機器、食品分野まで、幅広い用途展開が期待される大気圧プラズマを徹底解剖！

2023/07/31 | 10:30 ~ 17:30

摩擦摩耗のメカニズムと固体潤滑による低摩擦化の実現技術　＜オンラ...

～ 表面の特殊性とバルクとの差異、固体潤滑の利点と欠点、薄膜による耐摩耗性・低摩擦発現技術 ～ ・摩擦摩耗のメカニズムを理解し、薄膜によって耐摩耗性を向上させるための講座 ・効果的で速効性が...

2023/08/07 | 13:00-17:00

セミナー「小型核融合発電のイノベーション技術と応用【LIVE配信】」...

地球温暖化への対応として、二酸化炭素（CO2）などの温室効果ガスの排出量を減らす脱炭素化は今や世界の潮流であり、エネルギー政策の大きな転換を促している。エネルギーと脱炭素問題を同時に解決するイノ...

2023/08/07 | 13:00～17:00

小型核融合発電のイノベーション技術と応用【LIVE配信】 | セミナーの...

本講演では、核融合エネルギーと高温プラズマの基礎から開発の現状、および実用炉に向けた技術課題を示し、世界で40社以上にも増えつつあるベンチャー企業の開発状況、各ベンチャー独自のイノベーション技術...

2023/08/08 〜 2023/08/25

小型核融合発電のイノベーション技術と応用【アーカイブ配信】 | セミ...

本講演では、核融合エネルギーと高温プラズマの基礎から開発の現状、および実用炉に向けた技術課題を示し、世界で40社以上にも増えつつあるベンチャー企業の開発状況、各ベンチャー独自のイノベーション技術...

2023/08/31 | 13:00～17:00

半導体ウェットエッチングの基礎およびプロセス技術と先端課題【LIVE...

半導体製造は、成膜、リソグラフィー、エッチングの繰り返しによって半導体ウェハ上に素子を 作り込むものであり、エッチングは必要不可欠である。エッチングには、プラズマを用いたドライ エッチングと...

2023/08/24 | 10:30 - 11:30

いまさら聞けない！ バルク材料の不純物分析・基礎ウェビナー （ICP...

バルク材料中の微量不純物分析にはICP-MSが用いられることが多いですが、弊社ではGDMSをご提案しております。ICP-MSよりも使い勝手の良いGDMSはバルク試料内の微量不純物定量によく用いら...

2023/09/14 | 10:30 - 16:30

エッチング最新技術

「エッチングの基礎と最新技術〜ドライ／ウェットエッチングのメカニズムからプロセス技術、各種材料のエッチング技術、原子層エッチング（ALE）まで〜」 　プラズマを用いたドライエッチングや薬液...

プラズマ表面処理および低誘電フィルムへのスパッタリング加工につい...

プラズマ表面処理および低誘電フィルムへのスパッタリング加工につい...

2023/11/22 | 12:30-16:30

真空技術の基礎と真空システムの構築方法【提携セミナー】 | アイアー...

本セミナーでは真空技術について基礎から実践まで幅広く説明します。真空そのものの基礎的な話に加え、真空装置に欠かせないプラズマの話、また、具体的な真空装置の構成や周辺のインフラ設備に関してまで幅広...

2024/01/30 〜 2024/02/06

CVD・ALD装置の反応プロセス解析事例と展開【アーカイブ配信】 | セミ...

化学気相堆積（CVD）法と原子層堆積（ALD）法は、様々な薄膜を形成する際に広く用いられています。これらには、流れ、熱、反応物質の輸送に気相・表面の化学反応が複雑に絡むため、難しく見える方法です...

2024/01/29 | 10:30～16:30

CVD・ALD装置の反応プロセス解析事例と展開【LIVE配信】 | セミナーの...

化学気相堆積（CVD）法と原子層堆積（ALD）法は、様々な薄膜を形成する際に広く用いられています。これらには、流れ、熱、反応物質の輸送に気相・表面の化学反応が複雑に絡むため、難しく見える方法です...

2024/01/29 〜 2024/02/06 | 1/29　10:30～16:30

CVD・ALD装置の反応プロセス解析事例と展開【提携セミナー】 | アイア...

CVD装置内の現象を解析するため、化学反応速度と熱流体の基礎から原子層堆積（ALD）装置の流れ解析について紹介！ 成膜条件と得られた膜の関係から反応を推定した例、プラズマCVDの反応を観察し解析...

2024/02/13 | 10:30～16:30

先端的デバイス製作に必須の超精密研磨／CMPプロセス技術の基本原理か...

基礎編：加工メカニズム、消耗資材としてのパッド・スラリー等、平坦化CMP技術 応用編：3D ICプロセスを念頭にしてSiC/GaN/ダイヤモンド基板を主とする難加工材料の加工プロセス技術 将...

2023/06/16 | 13:00-16:00

セミナー「ALD（原子層堆積法）の基礎と高品質膜化および最新動向」の...

原子層堆積法は、ナノの酸化物薄膜を複雑形状にもコンフォーマルで形成できることから、LSI製造に利用されています。近年では、LSIのみならず、MEMS、太陽電池、機械部品、PETボトルへのコーティ...