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物流新時代を乗り越えるヒントが満載!11社合同ウェビナーイベント開催
6/4(火)→6/6(木) |第2回スマート物流Webinar Week|視聴無料
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No.144860
2023/12/04 | 12:30~16:30
プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門
本セミナーでは、まず前半で薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられるプラズマ(非平衡プラズマと呼ばれる)の生成機構や特徴について解説します。後半ではそれらを踏まえて、プラズマCV...