2023/06/16 | 13:00~17:00
ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向【LIVE配信】 ...
原子層堆積法は、ナノの酸化物薄膜を複雑形状にもコンフォーマルで形成できることから、LSI製造に利用されています。近年では、LSIのみならず、MEMS、太陽電池、機械部品、PETボトルへのコーティ...
2023/10/27 | 13:00-17:00
セミナー「ALDの基礎と原料の開発・選択」の詳細情報 - ものづくりド...
ALD(Atomic Layer Deposition)技術の基礎とALDの原料として用いられる有機金属化合物の一般的特徴。ALD用原料としての揮発可能な原料の開発指針。多種原料の特徴とどれがA...
2023/11/17 | 13:00~16:30
B231137: 遷移金属ダイカルコゲナイドの物性・合成・薄膜形成とデバイ...
二次元層状物質の代表格である遷移金属ダイカルコゲナイド(Transition Metal Dichalcogenide ; TMDC)は、二次元性を舞台とした基礎物性研究の対象としてだけでなく、...
2023/12/04 | 12:30~16:30
プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門
本セミナーでは、まず前半で薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられるプラズマ(非平衡プラズマと呼ばれる)の生成機構や特徴について解説します。後半ではそれらを踏まえて、プラズマCV...