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ウェビナー アーカイブ
No.139537
2023/11/17 | 13:00~16:30
B231137: 遷移金属ダイカルコゲナイドの物性・合成・薄膜形成とデバイ...
二次元層状物質の代表格である遷移金属ダイカルコゲナイド(Transition Metal Dichalcogenide ; TMDC)は、二次元性を舞台とした基礎物性研究の対象としてだけでなく、...
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No.144860
2023/12/04 | 12:30~16:30
プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門
本セミナーでは、まず前半で薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられるプラズマ(非平衡プラズマと呼ばれる)の生成機構や特徴について解説します。後半ではそれらを踏まえて、プラズマCV...